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1. WO2016108955 - RÉACTEUR DE DÉPÔT DE SILICIUM AVEC AGENCEMENT DE JOINT D'ÉTANCHÉITÉ DE FOND

Numéro de publication WO/2016/108955
Date de publication 07.07.2016
N° de la demande internationale PCT/US2015/037782
Date du dépôt international 25.06.2015
CIB
C23C 16/24 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
22caractérisé par le dépôt de matériaux inorganiques, autres que des matériaux métalliques
24Dépôt uniquement de silicium
C01B 33/035 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
BÉLÉMENTS NON MÉTALLIQUES; LEURS COMPOSÉS
33Silicium; Ses composés
02Silicium
021Préparation
027par décomposition ou réduction de composés de silicium gazeux ou vaporisés autres que la silice ou un matériau contenant de la silice
035par décomposition ou réduction de composés de silicium gazeux ou vaporisés en présence de filaments chauffés de silicium, de carbone ou d'un métal réfractaire, p.ex. de tantale ou de tungstène, ou en présence de tiges de silicium chauffées sur lesquelles le silicium formé se dépose avec obtention d'une tige de silicium, p.ex. procédé Siemens
C23C 16/442 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44caractérisé par le procédé de revêtement
442utilisant des procédés à lits fluidisés
B01J 8/18 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
JPROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE OU CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
8Procédés chimiques ou physiques en général, conduits en présence de fluides et de particules solides; Appareillage pour de tels procédés
18les particules étant fluidisées
F27B 15/06 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
27FOURS; CORNUES DE DISTILLATION
BFOURS OU CORNUES DE DISTILLATION, EN GÉNÉRAL; APPAREILS DE FRITTAGE À CIEL OUVERT OU APPAREILS ANALOGUES
15Fours à lit fluidisé; Autres fours utilisant ou traitant des matières finement divisées en dispersion
02Parties constitutives, accessoires ou équipement particuliers à ces types de fours
04Carcasses; Leurs supports
06Aménagement des garnissages
CPC
B01J 2208/00495
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
2208Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
00008Controlling the process
00017Controlling the temperature
00477by thermal insulation means
00495using insulating materials or refractories
B01J 2208/00902
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
2208Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
00796Details of the reactor or of the particulate material
00893Feeding means for the reactants
00902Nozzle-type feeding elements
B01J 8/1827
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
8Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
18with fluidised particles
1818Feeding of the fluidising gas
1827the fluidising gas being a reactant
B01J 8/1836
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
8Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
18with fluidised particles
1836Heating and cooling the reactor
B01J 8/1872
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
8Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
18with fluidised particles
1872Details of the fluidised bed reactor
C01B 33/027
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
02Silicon
021Preparation
027by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
Déposants
  • REC SILICON INC [US]/[US]
Inventeurs
  • SPANGLER, Michael, V.
  • MILLER, Matthew, J.
  • HANSEN, Jeffrey, A.
Mandataires
  • POLLEY, Richard, J.
Données relatives à la priorité
62/099,05731.12.2014US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SILICON DEPOSITION REACTOR WITH BOTTOM SEAL ARRANGEMENT
(FR) RÉACTEUR DE DÉPÔT DE SILICIUM AVEC AGENCEMENT DE JOINT D'ÉTANCHÉITÉ DE FOND
Abrégé
(EN)
Fluidized bed reactor systems for producing high purity silicon-coated particles are disclosed. A vessel has an outer shell, an insulation layer inwardly of the outer shell, a concentric inner shell inwardly of the outer shell, and a concentric liner that is positioned inwardly of the inner shell and that defines a reactor chamber. The inner shell and liner are sealed together at their bottoms by an O-ring seal arrangement to prevent gas in the reactor chamber from entering a space between the inner shell and the liner. A central inlet nozzle produces a vertical gas plume in the reactor chamber.
(FR)
Cette invention concerne des systèmes de réacteur à lit fluidisé destinés à produire des particules revêtues de silicium de haute pureté. Un récipient comprend une coque externe, une couche isolante à l'intérieur de la coque externe, une coque interne concentrique à l'intérieur de la coque externe, et une chemise concentrique qui est positionnée à l'intérieur de la coque interne et qui définit une chambre de réacteur. La coque interne et la chemise sont scellées ensemble au niveau de leurs parties inférieures par agencement de joints toriques d'étanchéité pour empêcher un gaz dans la chambre de réacteur de pénétrer dans un espace entre la coque interne et l'enveloppe. Une buse d'admission centrale produit un panache de gaz vertical dans la chambre de réacteur.
Également publié en tant que
SA517381777
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