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1. (WO2016108139) APPAREIL DE TRAÇAGE PAR LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/108139    N° de la demande internationale :    PCT/IB2015/059832
Date de publication : 07.07.2016 Date de dépôt international : 21.12.2015
CIB :
B23K 26/03 (2006.01), B23K 26/362 (2014.01), B23K 26/402 (2014.01), H01L 31/0463 (2014.01)
Déposants : FLISOM AG [CH/CH]; Ueberlandstrasse 129 8600 Dübendorf (CH)
Inventeurs : ZILTENER, Roger; (CH).
NETTER, Thomas; (CH)
Mandataire : CRONIN, Brian; (CH)
Données relatives à la priorité :
PCT/EP2015/025031 31.12.2014 EP
Titre (EN) APPARATUS FOR LASER SCRIBING
(FR) APPAREIL DE TRAÇAGE PAR LASER
Abrégé : front page image
(EN)A computer-controlled apparatus (1100, 2000) for laser scribing at least one line segment via hole (163, 165, 165', 167) in a thin-film device (200) wherein the apparatus comprising at least one laser source (1110, 1120), at least one mirror (1150, 1151) to form at least one laser spot (7200, 7300, 7400, 7500, 7600, 7700) on the first side of said device, at least one actuator (1115, 1116, 1125, 1126, 1130, 1150, 1151,2140,2150,2260,2265,2280,2285) configured to move at least one laser spot for laser scribing the thin-film device (200) along at least one direction (101, 102), at least one optical sensor (1146, 1160) configured to acquire imaging data, and at least one control system (6000) for processing imaging data, the control system executing image processing instructions (6140, 6146, 6147) for measuring in the imaging data, along a direction (103) that is orthogonal to at least one direction of laser scribing (101, 102): the width of a curl-up (1345) of the back-contact layer (120, 124, 126, 128, 129) and the width of a lip (1355) of conductive alloy resulting from a permanent change in the chemical composition of the semiconductive optoelectronically active layer where the line segment via hole is drilled.
(FR)La présente invention concerne un appareil (1100, 2000) commandé par ordinateur pour le traçage par laser d'au moins un segment de ligne par l'intermédiaire d'un trou (163, 165, 165', 167) dans un dispositif à film mince (200), l'appareil comprenant au moins une source laser (1110, 1120), au moins un miroir (1150, 1151) destiné à former au moins un point laser (7200, 7300, 7400, 7500, 7600, 7700) sur le premier côté dudit dispositif, au moins un actionneur (1115, 1116, 1125, 1126, 1130, 1150, 1151, 2140, 2150, 2260, 2265, 2280, 2285) conçu pour déplacer au moins un point laser pour le traçage par laser du dispositif à film mince (200) le long d'au moins une direction (101, 102), au moins un capteur optique (1146, 1160) conçu pour acquérir des données d'imagerie, et au moins un système de commande (6000) destiné à traiter des données d'imagerie, le système de commande exécutant des instructions (6140, 6146, 6147) de traitement d'image permettant de mesurer dans les données d'imagerie, le long d'une direction (103) qui est orthogonale à au moins une direction de traçage par laser (101, 102) : la largeur d'un redressement (1345) de la couche à contact arrière (120, 124, 126, 128, 129) et la largeur d'une lèvre (1355) d'alliage conducteur résultant d'un changement permanent dans la composition chimique de la couche optoélectroniquement active semi-conductrice dans laquelle est foré le segment de ligne par l'intermédiaire d'un trou.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)