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1. WO2016099874 - APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR COMMANDER UN FAISCEAU D'IONS

Numéro de publication WO/2016/099874
Date de publication 23.06.2016
N° de la demande internationale PCT/US2015/063328
Date du dépôt international 02.12.2015
CIB
H01J 37/317 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
317pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p.ex. implantation d'ions
CPC
H01J 37/04
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
H01J 37/304
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
304Controlling tubes by information coming from the objects ; or from the beam; , e.g. correction signals
H01J 37/3171
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
3171for ion implantation
Déposants
  • VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • BUFF, James S.
  • BELL, Edward W.
  • LEE, W. Davis
Mandataires
  • DAISAK, Daniel N.
Données relatives à la priorité
14/572,01616.12.2014US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS AND METHOD TO CONTROL AN ION BEAM
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR COMMANDER UN FAISCEAU D'IONS
Abrégé
(EN)
An apparatus to control a ribbon ion beam. The apparatus may include a coil assembly comprising a plurality of electromagnetic coils configured to generate a magnetic field proximate the ribbon beam, the magnetic field extending in a first direction that forms a non¬ zero angle with respect to a direction of propagation of the ribbon ion beam; a current source assembly configured to supply current to the coil assembly; and a controller configured to control the current source assembly to send at least one dithering current signal to the coil assembly responsive to a beam current measurement of the ribbon ion beam, wherein the at least one dithering current signal generates a fluctuation in magnetic field strength of the magnetic field.
(FR)
L'invention concerne un appareil pour commander un faisceau d'ions en ruban. L'appareil peut comprendre un ensemble bobine comprenant une pluralité de bobines électromagnétiques configurées pour générer un champ magnétique à proximité du faisceau en ruban, le champ magnétique s'étendant dans une première direction qui forme un angle non nul par rapport à une direction de propagation du faisceau d'ions en ruban ; un ensemble source de courant configuré pour fournir du courant à l'ensemble bobine ; et un contrôleur configuré pour commander l'ensemble source de courant pour envoyer au moins un signal de courant de tremblement à l'ensemble bobine en réponse à une mesure de courant de faisceau du faisceau d'ions en ruban, ledit au moins un signal de courant de tremblement générant une fluctuation dans l'intensité de champ magnétique du champ magnétique.
Également publié en tant que
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