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1. (WO2016046583) SYSTÈME DE RÉGLAGE POUR ALIGNER DES ÉLÉMENTS OPTIQUES OU DES ÉCHANTILLONS SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/046583    N° de la demande internationale :    PCT/IB2014/001905
Date de publication : 31.03.2016 Date de dépôt international : 23.09.2014
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.08.2015    
CIB :
G02B 7/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), B25J 9/00 (2006.01)
Déposants : FMB FEINWERK- UND MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Friedrich-Woehler-Strasse 2 12489 Berlin (DE)
Inventeurs : DEIWIKS, Jochen; (DE).
MÜLLER, Frieder; (DE).
HENNINGER, Hans; (DE)
Mandataire : WENZEL, Stephan; Humboldt-Patent Kurfürstendamm 59 10707 Berlin (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ADJUSTMENT SYSTEM FOR ALIGNING OPTICAL ELEMENTS OR SAMPLES IN VACUUM
(FR) SYSTÈME DE RÉGLAGE POUR ALIGNER DES ÉLÉMENTS OPTIQUES OU DES ÉCHANTILLONS SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(EN)The invention concerns an adjustment system for aligning optical elements and/or samples in vacuum (3) for projecting electromagnetic radiation in the terahertz range up to the range of hard X-ray radiation, consisting of at least one vacuum chamber (3"), at least one mirror (3') adjustable in spatial direction and/or at least one optical element adjustable in spatial direction or at least one sample adjustable in spatial direction, with translational actuators (X1, X2, Z1, Z2, Z3) in the un- deflected state (idle state) being provided for adjusting the alignment of the at least one mirror (3') adjustable in spatial direction and/or the at least one optical element adjustable in spatial direction or the at least one sample adjustable in spatial direction in a maximum of three essentially mutually perpendicular spatial directions (X, Y, Z, y, y, z). Pursuant to the invention it is provided that the at least one mirror (3') adjustable in spatial direction (X, Y, Z, y, y, z) and/or the at least one optical element adjustable in spatial direction (X, Y, Z, y, y, z) or sample within the vacuum chamber (3") is mounted in a fixed position in relation to the vacuum chamber (3"), with the vacuum chamber (3") being directly or indirectly connected with the translational actuators (X1, X2, Z1, Z2, Z3) for aligning the spatial position of the mirror and/or the optical element or the sample. This setup facilitates a very compact and small design of the vacuum chamber and achieves a very high precision of the alignment.
(FR)L'invention porte sur un système de réglage pour aligner des éléments optiques et/ou des échantillons sous vide (3) pour émettre un rayonnement électromagnétique dans la plage des téraherz jusqu'à la plage de rayonnement des rayons X durs, lequel système est constitué par au moins une chambre à vide (3"), au moins un miroir (3') pouvant être réglé dans une direction spatiale et/ou au moins un élément optique pouvant être réglé dans une direction spatiale ou au moins un échantillon pouvant être réglé dans une direction spatiale, des actionneurs de translation (X1, X2, Z1, Z2, Z3) dans l'état non infléchi (état de repos) qui sont conçus pour régler l'alignement du ou des miroirs (3') pouvant être réglés dans la direction spatiale et/ou du ou des éléments optiques pouvant être réglés dans la direction spatiale ou du ou des échantillons pouvant être réglés dans la direction spatiale dans un maximum de trois directions spatiales essentiellement mutuellement perpendiculaires (X, Y, Z, y, y, z). Selon l'invention, le ou les miroirs (3') pouvant être réglés dans la direction spatiale (X, Y, Z, y, y, z) et/ou le ou les éléments optiques pouvant être réglés dans la direction spatiale (X, Y, Z, y, y, z) ou l'échantillon à l'intérieur de la chambre à vide (3") sont montés dans une position fixe par rapport à la chambre à vide (3"), la chambre à vide (3") étant reliée directement ou indirectement aux actionneurs de translation (X1, X2, Z1, Z2, Z3) pour aligner la position spatiale du miroir et/ou de l'élément optique ou de l'échantillon. Cette configuration facilite une configuration très compacte et petite de la chambre à vide, et assure une précision très élevée de l'alignement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)