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1. (WO2016045913) DISPOSITIF DE PROJECTION D'UN ÉCHANTILLON

Pub. No.:    WO/2016/045913    International Application No.:    PCT/EP2015/069869
Publication Date: 31 mars 2016 International Filing Date: 31 août 2015
IPC: G02B 21/00
G02B 21/08
G02B 21/36
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: LIPPERT, Helmut
KALKBRENNER, Thomas
KLEPPE, Ingo
WOLLESCHENSKY, Ralf
SIEBENMORGEN, Joerg
Title: DISPOSITIF DE PROJECTION D'UN ÉCHANTILLON
Abstract:
L'invention concerne un dispositif et un procédé de projection d’un échantillon (2) disposé dans un plan objet (1). Un tel dispositif comprend un système de transmission optique (3) qui effectue une projection d’une zone de l'échantillon (2) du plan de l'objet (1) dans un plan d'image intermédiaire (4). Selon l’invention, le plan objet (1) et le plan d'image intermédiaire (4) forme avec un axe optique (5) du système de transmission (3) un angle différent de 90°. Le système de transmission optique (3) est constitué d’une pluralité de lentilles. Le dispositif comporte en outre un système de projection optique (6) pourvu d’un objectif dont l'axe optique (7) est perpendiculaire au plan d'image intermédiaire (4) et qui est focalisé sur le plan d'image intermédiaire (4) de sorte que le plan objet (1) peut être projeté sans distorsion sur un détecteur (8). Enfin, le dispositif comporte également un moyen d'éclairage (10) destiné à éclairer l’échantillon (2) avec une nappe de lumière (11), la nappe de lumière (11) se trouvant sensiblement dans le plan objet (1) et définissant une direction d'éclairage et la normale du plan objet (1) définissant une direction de détection. Dans un tel dispositif, le plan objet (1) forme avec l'axe optique (5) du système de transmission (3) un angle dont la valeur est inférieure à celle de l'angle d'ouverture d’un cône d’ouverture de détection côté image intermédiaire (12) du système de transmission (3) et le plan objet (1) se trouve au moins en partie à l'intérieur du cône d’ouverture de détection côté objet (12). En outre, le plan d'image intermédiaire (4) forme avec l'axe optique (5) du système de transmission (3) un angle dont la valeur est inférieure à celle de l'angle d'ouverture d’un cône d'ouverture de détection côté image intermédiaire (13) du système de transmission (3), le plan d'image intermédiaire (4) est situé au moins en partie à l'intérieur du côté d’ouverture de détection côté image intermédiaire (13).