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1. (WO2016045858) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE STRATIFIÉS ORGANIQUES-INORGANIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/045858    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/068134
Date de publication : 31.03.2016 Date de dépôt international : 06.08.2015
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), B05D 1/00 (2006.01)
Déposants : BASF SE [DE/DE]; 67056 Ludwigshafen (DE)
Inventeurs : CHO, Sung Min; (KR).
CHAE, Heeyeop; (KR).
LEE, Jun Young; (KR)
Représentant
commun :
BASF SE; 67056 Ludwigshafen (DE)
Données relatives à la priorité :
14186180.7 24.09.2014 EP
Titre (EN) PROCESS FOR PRODUCING ORGANIC-INORGANIC LAMINATES
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE STRATIFIÉS ORGANIQUES-INORGANIQUES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is in the field of processes for producing organic-inorganic laminates by atomic layer deposition and plasma-enhanced chemical vapor deposition.In particular, the present invention relates to a process for the production of organic-inorganic laminates comprising moving a substrate relative to (a)at least two sets of orifices arranged along the moving trajectory of the substrate wherein each set comprises at least one orifice through which a (semi)metal-containing compound is passed towards the surface and at least one orifices through which a compound capable of de- composing the (semi)metal-containing compound is passed towards the substrate and (b)a plasma flux comprising an organic compound directed towards the substrate.
(FR)L'invention concerne le domaine des procédés de production de stratifiés organiques-inorganiques par dépôt de couche atomique et dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma.En particulier, l'invention concerne un procédé pour la production de stratifiés organiques-inorganiques comprenant les étapes consistant à déplacer un substrat par rapport à (a) au moins deux ensembles d'orifices agencés le long de la trajectoire de déplacement du substrat, chaque ensemble comprenant au moins un orifice à travers lequel un composé contenant un (semi)-métal passe vers la surface et au moins un orifice à travers lequel un composé capable de dé- composer le composé contenant un (semi)-métal passe vers le substrat et (b) un flux de plasma contenant un composé organique dirigé vers le substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)