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1. (WO2016043379) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2016/043379    International Application No.:    PCT/KR2014/010945
Publication Date: 24 mars 2016 International Filing Date: 14 nov. 2014
IPC: G01N 21/89
G01N 21/95
Applicants: HANWHA TECHWIN CO., LTD.
한화테크윈 주식회사
Inventors: LEE, Sung Hun
이성헌
HONG, Jin Kwang
홍진광
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention concerne un appareil d'inspection de substrat comprenant : un premier étage apte à se déplacer horizontalement et, en même temps, apte à déplacer horizontalement un substrat chargé tel que disposé ; un second étage apte à se déplacer horizontalement et, en même temps, apte à déplacer horizontalement en continu le substrat qui a été reçu en provenance du premier étage ; et une caméra disposée entre le premier étage et le second étage, pour photographier le substrat se déplaçant horizontalement.