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1. (WO2016043053) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT, SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/043053    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/074953
Date de publication : 24.03.2016 Date de dépôt international : 02.09.2015
CIB :
B01D 53/68 (2006.01), B01D 53/44 (2006.01), B01D 53/58 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : MORIYA Tsuyoshi; (JP).
KOBAYASHI Sensho; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-189189 17.09.2014 JP
Titre (EN) EXHAUST TREATMENT DEVICE, SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM, AND METHOD FOR TREATING EXHAUST
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT, SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT
(JA) 排気処理装置、基板処理システム、及び、排気を処理する方法
Abrégé : front page image
(EN)This exhaust treatment device treats pollutant gas discharged from a chamber of a cleaning device for cleaning a body to be treated. This exhaust treatment device is provided with: multiple exhaust treatment units which subject the pollutant gas to mutually different treatments; a control unit which, in accordance with recipes specifying a cleaning treatment in the chamber, selects one or more of the multiple exhaust treatment units and controls the exhaust treatment devices such that the pollutant gas is treated only by the selected one or more exhaust treatment units; and a gas line which circulates into the chamber the gas outputted through the selected one or more exhaust treatment units.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement de gaz d'échappement qui traite des gaz polluants évacués d'une chambre d'un dispositif de nettoyage servant à nettoyer un corps à traiter. Ce dispositif de traitement de gaz d'échappement est muni : de multiples unités de traitement de gaz d'échappement qui soumettent le gaz polluant à des traitements différents les uns des autres ; d'une unité de commande qui, conformément à des recettes spécifiant un traitement de nettoyage dans la chambre, sélectionne un ou plusieurs des multiples unités de traitement de gaz d'échappement et commande les dispositifs de traitement de gaz d'échappement de telle sorte que le gaz polluant n'est traité que par la ou les unités de traitement de gaz d'échappement sélectionnées ; et une conduite de gaz qui fait circuler dans la chambre le gaz qui sort de la ou des unités de traitement de gaz d'échappement sélectionnées.
(JA) 排気処理装置は、被処理体を洗浄する洗浄装置のチャンバから排出される汚染ガスを処理する排気処理装置である。排気処理装置は、汚染ガスに対して互いに異なる処理を行う複数の排気処理ユニットと、チャンバにおける洗浄処理を特定するレシピに応じて、複数の排気処理ユニットのうち一以上の排気処理ユニットを選択し、選択された一以上の排気処理ユニットのみによって汚染ガスが処理されるように、排気処理装置を制御する制御部と、選択された一以上の排気処理ユニットを通って出力されるガスをチャンバに循環するガスラインと、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)