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1. (WO2016036250) APPAREIL D'INSPECTION COMPACT COMPRENANT UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET UN MICROSCOPE OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/036250    N° de la demande internationale :    PCT/NL2015/050616
Date de publication : 10.03.2016 Date de dépôt international : 04.09.2015
CIB :
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
Déposants : DELMIC B.V. [NL/NL]; Thijsseweg 11 NL-2629 JA Delft (NL)
Inventeurs : EFFTING, Andries Pieter Johan; (NL).
DE PINTH, Wilhelmus Johannes Adriaan; (NL).
DE SWART, Gijsbert; (NL)
Mandataire : PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Données relatives à la priorité :
2013432 05.09.2014 NL
Titre (EN) COMPACT INSPECTION APPARATUS COMPRISING A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND AN OPTICAL MICROSCOPE
(FR) APPAREIL D'INSPECTION COMPACT COMPRENANT UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET UN MICROSCOPE OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an inspection apparatus comprising a Scanning Electron Microscope (SEM, 201) and an optical microscope (202). The SEM comprises a first chamber (211) comprising a source (203) for emitting a primary electron beam, an electron optical column comprising a lens for focusing the electron beam onto a sample (222) on a sample holder, and an electron detector (208) for detecting electrons from the sample. The inspection apparatus further comprises a second chamber (214) which comprises the sample holder. The second chamber is movably connected to the first chamber for moving the sample holder with respect to the SEM. For imaging, there is an open connection between the first and second chamber for observation of the sample with the SEM. The optical microscope comprises a light collecting device for collecting light from the sample, and a light detector for detecting the light from the sample. The light collecting device is arranged inside the second chamber.
(FR)L'invention concerne un appareil d'inspection comprenant un microscope électronique à balayage (MEB, 201) et un microscope optique (202). Le MEB comprend une première chambre (211) incluant une source (203) servant à émettre un faisceau d'électrons primaires, une colonne optique électronique incluant une lentille destinée à concentrer le faisceau d'électrons sur un échantillon (222) sur un porte-échantillon, et un détecteur d'électrons (208) destiné à détecter les électrons en provenance de l'échantillon. L'appareil d'inspection comprend en outre une deuxième chambre (214) qui comporte le porte-échantillon. La deuxième chambre est reliée de manière amovible à la première chambre pour déplacer le porte-échantillon par rapport au MEB. Pour la capture d'image, il existe une connexion ouverte entre la première et la deuxième chambre pour l'observation de l'échantillon avec le MEB. Le microscope optique comprend un dispositif de collecte de lumière servant à collecter la lumière en provenance de l'échantillon et un détecteur de lumière destiné à détecter la lumière en provenance de l'échantillon. Le dispositif de collecte de lumière est disposé à l'intérieur de la deuxième chambre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)