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1. (WO2016035599) MATÉRIAU COMPOSITE D'Al RÉAGISSANT À L'EAU, FILM FORMÉ PAR PULVÉRISATION D'ALLIAGE D'Al RÉAGISSANT À L'EAU, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM FORMÉ PAR PULVÉRISATION D'ALLIAGE D'Al ET ÉLÉMENT CONSTITUTIF POUR CHAMBRE DE DÉPÔT DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/035599    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/073761
Date de publication : 10.03.2016 Date de dépôt international : 24.08.2015
CIB :
C23C 4/06 (2006.01), C22C 21/02 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
Inventeurs : NAKAMURA, Ryouta; (JP).
MORITA, Tadashi; (JP).
MUSHIAKE, Katsuhiko; (JP)
Mandataire : KURIHARA, Hiroyuki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-181685 05.09.2014 JP
Titre (EN) WATER-REACTIVE Al COMPOSITE MATERIAL, WATER-REACTIVE Al ALLOY SPRAY FILM, METHOD FOR MANUFACTURING Al ALLOY SPRAY FILM AND CONSTITUENT MEMBER FOR FILM DEPOSITION CHAMBER
(FR) MATÉRIAU COMPOSITE D'Al RÉAGISSANT À L'EAU, FILM FORMÉ PAR PULVÉRISATION D'ALLIAGE D'Al RÉAGISSANT À L'EAU, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM FORMÉ PAR PULVÉRISATION D'ALLIAGE D'Al ET ÉLÉMENT CONSTITUTIF POUR CHAMBRE DE DÉPÔT DE FILM
(JA) 水反応性Al複合材料、水反応性Al合金溶射膜、このAl合金溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材
Abrégé : front page image
(EN)A water-reactive Al composite material for spraying that is prepared by adding to Al 0.2-2 wt% (relative to the weight of Al, the same applies hereinafter) inclusive of Bi, 1.5-8 wt% inclusive of Si, 0.2-4 wt% inclusive of Ti, 0.2-2 wt% inclusive of Ce and 0.2-2 wt% inclusive of Mg. From this Al composite material, an Al alloy spray film is obtained. Then a constituent member for a film deposition chamber is coated with this Al alloy spray film.
(FR)L'invention concerne un matériau composite d'Al réagissant à l'eau pour pulvérisation qui est préparé par l'ajout à l'Al de 0,2 à 2 % en poids (par rapport au poids de l'Al, il en va de même ci-après) inclus de Bi, 1,5 à 8 % en poids inclus de Si, 0,2 à 4 % en poids inclus de Ti, 0,2 à 2 % en poids inclus de Ce et 0,2 à 2 % en poids inclus de Mg. À partir de ce matériau composite d'Al, un film formé par pulvérisation d'alliage d'Al est obtenu. Ensuite, un élément constitutif pour une chambre de dépôt de film est revêtu de ce film formé par pulvérisation d'alliage d'Al.
(JA) Alに、Al重量基準で、0.2wt%以上2wt%以下のBi、1.5wt%以上8wt%以下のSi、0.2wt%以上4wt%以下のTi、0.2wt%以上2wt%以下のCe、及び0.2wt%以上2wt%以下のMgを添加してなる溶射用水反応性Al複合材料。このAl複合材料からAl合金溶射膜を得、このAl合金溶射膜で成膜室用構成部材を覆う。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)