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1. (WO2016030246) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE DISTANCE INTERFÉROMÉTRIQUE COMPENSÉE EN TEMPÉRATURE LORS DE L'USINAGE PAR LASER DE PIÈCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/030246    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/069028
Date de publication : 03.03.2016 Date de dépôt international : 19.08.2015
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH [DE/DE]; Johann-Maus-Strasse 2 71254 Ditzingen (DE)
Inventeurs : DORSCH, Friedhelm; (DE).
HARRER, Thomas; (DE).
HAUG, Patrick; (DE).
PFITZNER, Dieter; (DE).
KESSLER, Steffen; (DE)
Mandataire : KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Ruppmannstr. 27 70565 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2014 216 829.5 25.08.2014 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TEMPERATURKOMPENSIERTEN INTERFEROMETRISCHEN ABSTANDSMESSUNG BEIM LASERBEARBEITEN VON WERKSTÜCKEN
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR THE TEMPERATURE-COMPENSATED INTERFEROMETRIC MEASUREMENT OF A DISTANCE WHEN LASER-MACHINING WORKPIECES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE DISTANCE INTERFÉROMÉTRIQUE COMPENSÉE EN TEMPÉRATURE LORS DE L'USINAGE PAR LASER DE PIÈCES
Abrégé : front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung (3) zur Messung des Abstands (A) zwischen einer reflektierenden Werkstückoberfläche (2a) eines Werkstücks (2) und einer reflektierenden Referenzfläche (2b) bei der Laserbearbeitung des Werkstücks (2) weist ein Interferometer (5) einen Strahlteiler (6), der Interferometerlicht (7) auf einen Messarm (9) als Messstrahl (10) und auf einen Referenzarm (11) als Referenzstrahl (12) aufteilt, und einen Detektor (13) auf, der den an der Werkstückoberfläche (2a) reflektierten Messstrahl (10) und den an der Referenzfläche (2b) reflektierten Referenzstrahl (12) detektiert, wobei der Messarm (9) und der Referenzarm (11) innerhalb der Kohärenzlänge des Interferometerlichts (7) gleich lang sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Messarm (9) eine Messfaser (14) und der Referenzarm (11) eine Referenzfaser (15) aufweisen und die Messfaser (14) und die Referenzfaser (15) auf ihrer gesamten Länge oder einer Teillänge, insbesondere bei unterschiedlich langen Fasern (14, 15) auf der gesamten Länge der kürzeren Faser, parallel nebeneinander verlaufen und in thermischem Kontakt miteinander stehen, dass der Messarm (9) als reflektierende Werkstückoberfläche einen ersten Oberflächenbereich (2a) und der Referenzarm (11) als reflektierende Referenzfläche einen zweiten Oberflächenbereich (2b) des Werkstücks (2) aufweisen und dass zwischen dem Werkstück (2) und dem werkstückseitigen Ende der Messfaser (14) und/oder der Referenzfaser (15) eine Ablenkoptik (16) angeordnet ist, die den Messstrahl (10) und/oder den Referenzstrahl (15) gemeinsam oder jeweils getrennt über die Mess- und/oder Referenzfläche (2a, 2b) bewegt.
(EN)In an apparatus (3) for measuring the distance (A) between a reflective surface (2a) of a workpiece (2) and a reflective reference surface (2b) when laser-machining the workpiece (2), an interferometer (5) has a beam splitter (6) that splits interferometer light (7) onto a measurement arm (9) as a measurement beam (10) and onto a reference arm (11) as a reference beam (12), and a detector (13) that detects the measurement beam (10) reflected off the workpiece surface (2a) as well as the reference beam (12) reflected off the reference surface (2b), the measurement arm (9) and the reference arm (11) having the same length within the coherent length of the interferometer light (7). According to the invention, the measurement arm (9) includes a measurement fiber (14), and the reference arm (11) includes a reference fiber (15); the measurement fiber (14) and the reference fiber (15) run parallel to one another along the entire length thereof or along a partial length, especially along the entire length of the shorter fiber when the fibers (14, 15) have different lengths, and are in thermal contact with one another; the measurement arm (9) has a first surface region (2a) of the workpiece (2) as the reflective workpiece surface, and the reference arm (11) has a second surface region (2b) of the workpiece (2) as the reflective reference surface; and a deflection lens (15), which jointly or separately moves the measurement beam (10) and/or the reference beam (15) across the measurement surface (2a) and/or the reference surface (2b), is located between the workpiece (2) and the end of the measurement fiber (14) and/or of the reference fiber (15) facing the workpiece.
(FR)Dans un dispositif (3) destiné à mesurer la distance (A) entre une surface réfléchissante (2a) d'une pièce (2) et une surface de référence réfléchissante (2b) lors de l'usinage par laser de la pièce (2), un interféromètre (5) comprend un diviseur de faisceau (6), qui divise la lumière (7) de l'interféromètre en un bras de mesure (9) servant de faisceau de mesure (10) et en un bras de référence (11) servant de faisceau de référence (12), et un détecteur (13) qui détecte le faisceau de mesure (10) réfléchi par la surface (2a) de la pièce et le faisceau de référence (12) réfléchi par la surface de référence (2b), le bras de mesure (9) et le bras de référence (11) étant de même longueur à l'intérieur de la longueur de cohérence de la lumière (7) de l'interféromètre. L'invention est caractérisée en ce que le bras de mesure (9) comporte une fibre de mesure (14) et le bras de référence (11) comprend une fibre de référence (15) et la fibre de mesure (14) et la fibre de référence (15) s'étendent parallèlement l'une à côté de l'autre sur toute leur longueur ou sur une partie de leur longueur, en particulier lorsque les fibres ont des longueurs (14, 15) différentes sur toute la longueur de la fibre la plus courte, et sont en contact thermique l'une avec l'autre, en ce que le bras de mesure (9) comporte comme surface réfléchissante de la pièce une première zone de surface (2a) et le bras de référence (11) comporte comme surface de référence réfléchissante une seconde zone de surface (2b) de la pièce (2), et en ce qu'entre la pièce (2) et l'extrémité côté pièce de la fibre de mesure (14) et/ou de la fibre de référence (15) est disposé un système optique de déviation (16) qui déplace le faisceau de mesure (10) et/ou le faisceau de référence (15) conjointement ou séparément sur la surface de mesure et/ou la surface de référence (2a, 2b).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)