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1. (WO2016014131) DISPOSITIFS DE DÉPLACEMENT DE FLUIDE PIÉZOÉLECTRIQUE ROBUSTES, ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS

Pub. No.:    WO/2016/014131    International Application No.:    PCT/US2015/027770
Publication Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Apr 28 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 41/09
F04D 33/00
F04B 43/04
F04B 45/047
Applicants: MIDE TECHNOLOGY CORPORATION
Inventors: LUDLOW, Christopher
COURT, Jeffrey, Richard
O'SULLIVAN, Cody, John
HANLY, Stephen, William
DURANT, Brian, Thomas
Title: DISPOSITIFS DE DÉPLACEMENT DE FLUIDE PIÉZOÉLECTRIQUE ROBUSTES, ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de déplacement de fluide piézoélectrique (par exemple, une soufflante ou un actionneur de jet synthétique), comprenant la formation d'au moins une première électrode sur un substrat de base et le dépôt d'un cadre de séparation autour de la première électrode. Un substrat piézoélectrique est placé dans le cadre et sur la première électrode. Un substrat de couverture est placé sur le cadre de séparation. Le substrat de couverture et le cadre de séparation sont stratifiés l'un avec l'autre et avec le substrat de base en encapsulant le substrat piézoélectrique entre le substrat de couverture et le substrat de base pour fournir un dispositif à longue durée de vie.