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1. (WO2016013262) SUBSTRAT À BASE DE NITRURE DE GALLIUM

Pub. No.:    WO/2016/013262    International Application No.:    PCT/JP2015/061675
Publication Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Apr 17 01:59:59 CEST 2015
IPC: C30B 29/38
H01L 21/205
Applicants: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
住友電気工業株式会社
Inventors: KIYAMA, Makoto
木山 誠
HIROTA, Ryu
弘田 龍
NAKAHATA, Seiji
中畑 成二
Title: SUBSTRAT À BASE DE NITRURE DE GALLIUM
Abstract:
Ce substrat à base de nitrure de gallium présente une surface dans le plan C d'un diamètre d'au moins 100 mm et, en cartographie microscopique de la photoluminescence à 25 °C dans un carré de 2 mm de côté dans le plan C, il comprend une première zone et une seconde zone présentant différentes valeurs moyennes d'intensité d'émission en limite de bande, la valeur moyenne Ibe1a de l'intensité d'émission en limite de bande de la première zone et la valeur moyenne Ibe2a de l'intensité d'émission en limite de bande de la seconde zone respectant les relations (I) et (II) ci-dessous. Ibe1a > Ibe2a … (I) 2,1 ≦ Ibe1a/Ibe2a ≤ 9,4 … (II)