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1. (WO2016013102) APPAREIL DE PRODUCTION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/013102 N° de la demande internationale : PCT/JP2014/069645
Date de publication : 28.01.2016 Date de dépôt international : 25.07.2014
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC.[JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs : SUZUKI, Toru; JP
YABU, Takayuki; JP
Mandataire : TOU-OU PATENT FIRM; Urban Toranomon Bldg., 16-4, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PRODUCTION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成装置
Abrégé : front page image
(EN) A target sensor used in this extreme ultraviolet light generation apparatus may include: a plurality of sensor elements that respectively output sensor signals which change corresponding to quantities of light received by light receiving surfaces; and a signal generation unit which processes the sensor signals transmitted from the sensor elements. The light receiving surfaces of the sensor elements may be disposed at different positions in the second direction which is different from the first direction in which a target image formed by illumiantion light moves. The signal generation unit may compare the sensor signals with a threshold value, said sensor signals having been transmitted from the sensor elements, and may output a signal indicating target detection, in the cases where a sensor signal transmitted from at least one of the sensor elements exceeds the threshold value.
(FR) La présente invention concerne un appareil de production de lumière ultraviolette extrême dont un capteur de cible peut comprendre : une pluralité d'éléments de capteur qui délivrent respectivement en sortie des signaux de capteur qui changent en fonction de quantités de lumière reçue par des surfaces de réception de lumière ; et une unité de production de signal qui traite les signaux de capteur transmis à partir des éléments de capteur. Les surfaces de réception de lumière des éléments de capteur peuvent être disposées en différentes positions dans la seconde direction qui est différente de la première direction dans laquelle se déplace une image cible formée par la lumière d'éclairage. L'unité de production de signal peut comparer les signaux de capteur avec une valeur seuil, lesdits signaux de capteur ayant été transmis à partir des éléments de capteur, et peut délivrer en sortie un signal indiquant la détection de cible, dans les cas où un signal de capteur transmis à partir d'au moins l'un des éléments de capteur dépasse la valeur seuil.
(JA) 極端紫外光生成装置に使用されるターゲットセンサは、それぞれが、受光面での受光量に応じて変化するセンサ信号を出力する複数のセンサ要素と、複数のセンサ要素それぞれからのセンサ信号を処理する信号生成部と、を含んでもよい。複数のセンサ要素の受光面は、ターゲットの照明光による像が移動する第1方向と異なる第2方向において異なる位置に配置されてもよい。信号生成部は、複数のセンサ要素のそれぞれからのセンサ信号と閾値と比較し、複数のセンサ要素の少なくとも一つからのセンサ信号が閾値を超えた場合に、ターゲットの検出を示す信号を出力してもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)