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1. (WO2016011690) DISPOSITIF DE MONTAGE EN QUARTZ ET PLAQUE DE FOND DE MONTAGE EN QUARTZ UTILISÉS POUR UN FOUR À HAUTE TEMPÉRATURE OLED

Pub. No.:    WO/2016/011690    International Application No.:    PCT/CN2014/084456
Publication Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat Aug 16 01:59:59 CEST 2014
IPC: H01L 51/56
H01L 21/683
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
深圳市华星光电技术有限公司
Inventors: YU, Wei
余威
Title: DISPOSITIF DE MONTAGE EN QUARTZ ET PLAQUE DE FOND DE MONTAGE EN QUARTZ UTILISÉS POUR UN FOUR À HAUTE TEMPÉRATURE OLED
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de montage en quartz et une plaque de fond de montage en quartz (40) utilisés pour un four à haute température pour dispositifs électroluminescents organiques (OLED). Le dispositif de montage en quartz comprend une base (10), plusieurs piliers en quartz (30) installés à demeure sur la base (10), la plaque de fond de montage en quartz (40) située au-dessus de la base (10), et plusieurs couches de plaques de montage en quartz (50) situées au-dessus de la plaque de fond de montage en quartz (40) et fixées sur les piliers en quartz (30). La plaque de fond de montage en quartz (40) comprend une plaque de fond supérieure (41), une plaque de fond inférieure (42) et des piliers creux en quartz (70) reliés à la plaque de fond supérieure et à la plaque de fond inférieure. Un trou traversant (43) est formé correspondant à chaque pilier creux en quartz (70) et pénétrant dans la plaque de fond de montage en quartz (40). Le diamètre du trou traversant (43) est plus grand que celui du pilier en quartz (30). Plusieurs premiers piliers de liaison (80) sont agencés entre la plaque de fond supérieure (41) et la plaque de fond inférieure (42). La force de support de la plaque de fond supérieure (41) est accrue par la plaque de fond inférieure (42), ce qui permet de prévenir une fissuration de la plaque de fond supérieure (41) quand le dispositif de montage en quartz vibre, de réduire efficacement la forte dépense causée par la fissuration du dispositif de montage en quartz et de réduire le retard dans la progression de la fabrication de dispositifs OLED causé par la fissuration du dispositif de montage, d'améliorer l'efficacité de production et de réduire le coût.