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1. (WO2016010963) MICROSCOPIE À FORCES ATOMIQUES À IMAGERIE À MODE À BOUCLES MULTIPLES ADAPTATIVES À GRANDE VITESSE

Pub. No.:    WO/2016/010963    International Application No.:    PCT/US2015/040273
Publication Date: Fri Jan 22 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed Jul 15 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01Q 30/06
G01Q 30/12
B82Y 35/00
Applicants: RUTGERS, THE STATE UNIVERSITY OF NEW JERSEY
Inventors: ZOU, Qingze
REN, Juan
LIU, Jiangbo
Title: MICROSCOPIE À FORCES ATOMIQUES À IMAGERIE À MODE À BOUCLES MULTIPLES ADAPTATIVES À GRANDE VITESSE
Abstract:
L'invention porte sur un procédé pour réaliser une image d'un échantillon à l'aide d'un microscope à forces atomiques à mode dynamique à grande vitesse, lequel procédé peut mettre en œuvre le balayage d'une pointe d'une sonde en porte-à-faux sur une surface de l'échantillon, la régulation d'une amplitude de vibration de la pointe de façon à rester constante à une valeur de point de consigne (Aset), par l'intermédiaire d'un premier signal généré dans un premier dispositif de commande de rétroaction, la mesure d'un infléchissement d'impact moyen de la pointe, la régulation de l'infléchissement d'impact moyen par l'intermédiaire d'un second signal généré dans un second dispositif de commande de rétroaction, et le suivi et la mesure d'un réglage de l'infléchissement d'impact moyen mesuré pendant la régulation. Le procédé peut de plus mettre en œuvre la génération d'une topographie d'image de l'échantillon sur la base du premier signal, du second signal et du réglage mesuré de l'infléchissement d'impact moyen de la sonde en porte-à-faux.