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1. (WO2016010673) ÉTALONNAGE D'UN CAPTEUR PHOTOÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS UNE SOURCE LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/010673 N° de la demande internationale : PCT/US2015/036489
Date de publication : 21.01.2016 Date de dépôt international : 18.06.2015
CIB :
H01L 21/027 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,B23K 26/08 (2014.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O.Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs : LIU, Rong; US
RAFAC, Robert, J.; US
MYERS, David, W.; US
BERGSTEDT, Robert, A.; US
MCKENZIE, Paul, A.; US
Mandataire : BHARUCHA, Cyrus, F.; US
Données relatives à la priorité :
14/330,48814.07.2014US
14/330,52614.07.2014US
Titre (EN) CALIBRATION OF PHOTOELECTROMAGNETIC SENSOR IN A LASER SOURCE
(FR) ÉTALONNAGE D'UN CAPTEUR PHOTOÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS UNE SOURCE LASER
Abrégé : front page image
(EN) In a laser-produced plasma (LPP) extreme ultraviolet (EUV) system, laser pulses are used to produce EUV light. To determine the energy of individual laser pulses, a photoelectromagnetic (PEM) detector is calibrated to a power meter using a calibration coefficient. When measuring a unitary laser beam comprising pulses of a single wavelength, the calibration coefficient is calculated based on a burst of the pulses. A combined laser beam has main pulses of a first wavelength alternating with pre-pulses pulses of a second wavelength. To calculate the energy of the main pulses in the combined laser beam, the calibration coefficient calculated for a unitary laser beam of the main pulses is used. To calculate the energy of the pre-pulses in the combined laser beam, a new calibration coefficient is calculated. When the calculated energy values drift beyond a pre-defined threshold, the calibration coefficients are recalculated.
(FR) Dans un système ultraviolet extrême (EUV) à plasma produit par un laser (LPP), des impulsions laser sont utilisées pour produire une lumière EUV. Afin de déterminer l'énergie des impulsions laser individuelles, un détecteur photoélectromagnétique (PEM) est étalonné vis-à-vis d'un wattmètre à l'aide d'un coefficient d'étalonnage. Lors de la mesure d'un faisceau laser unitaire comprenant des impulsions d'une seule longueur d'onde, le coefficient d'étalonnage est calculé sur la base d'une rafale des impulsions. Un faisceau laser combiné a des impulsions principales d'une première longueur d'onde alternant avec des pré-impulsions d'une seconde longueur d'onde. Pour calculer l'énergie des impulsions principales dans le faisceau laser combiné, on utilise le coefficient d'étalonnage calculé pour un faisceau laser unitaire des impulsions principales. Pour calculer l'énergie des pré-impulsions dans le faisceau laser combiné, on calcule un nouveau coefficient d'étalonnage. Lorsque les valeurs d'énergie calculées dérivent au-delà d'un seuil prédéfini, les coefficients d'étalonnage sont recalculés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)