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1. (WO2016010055) ÉLÉMENT D’ÉLECTRODE NÉGATIVE ET DISPOSITIF À PLASMA DANS LEQUEL CE DERNIER EST UTILISÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/010055    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/070210
Date de publication : 21.01.2016 Date de dépôt international : 14.07.2015
CIB :
C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : NISSIN ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 47, Umezu Takase-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158686 (JP)
Inventeurs : KATO, Kenji; (JP).
TAKAHASHI, Masato; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-147808 18.07.2014 JP
Titre (EN) NEGATIVE ELECTRODE MEMBER AND PLASMA DEVICE IN WHICH SAME IS USED
(FR) ÉLÉMENT D’ÉLECTRODE NÉGATIVE ET DISPOSITIF À PLASMA DANS LEQUEL CE DERNIER EST UTILISÉ
(JA) 陰極部材及びこれを用いたプラズマ装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a negative electrode member that makes it possible to maintain stabilized sparkless discharging, and a plasma device in which the negative electrode member is used. The plasma device (100) is provided with a vacuum container (1), a holding member (2) for holding a substrate (21), and an arc evaporation source (3) attached to the vacuum container (1). The arc evaporation source (2) includes the negative electrode member (32), which is disposed towards the substrate (21). The negative electrode member (32) comprises glassy carbon. The thermal shock resistance of the negative electrode member (32) is greater than 7.9.
(FR)L'invention porte sur un élément d'électrode négative qui permet de maintenir une décharge sans étincelle stabilisée et sur un dispositif à plasma dans lequel l'élément d'électrode négative est utilisé. Le dispositif à plasma (100) est pourvu d'un récipient à vide (1), d'un élément de maintien (2) permettant le maintien d'un substrat (21) et d'une source d'évaporation par arc (3) fixée au récipient à vide (1). La source d'évaporation par arc (2) comprend l'élément d'électrode négative (32), qui est disposé pour être orienté vers le substrat (21). L'élément d'électrode négative (32) comprend du carbone vitreux. La résistance aux chocs thermiques de l'élément d'électrode négative (32) est supérieure à 7,9.
(JA)安定したスパークレス放電を継続することが可能な陰極部材、及びこれを用いたプラズマ装置を提供する。プラズマ装置(100)は、真空容器(1)と、基材(21)を保持するための保持部材(2)と、真空容器(1)に取り付けられるアーク式蒸発源(3)とを備える。アーク式蒸発源(2)は、基材(21)に向かって配置される陰極部材(32)を含む。陰極部材(32)は、ガラス状炭素からなる。陰極部材(32)の熱衝撃抵抗は7.9よりも大きい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)