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1. (WO2016008281) DISPOSITIF COLLECTEUR D'ATOMES D'HYDROGÈNE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE POUR LE NETTOYAGE D'ÉLÉMENT OPTIQUE CONTAMINÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/008281 N° de la demande internationale : PCT/CN2015/000501
Date de publication : 21.01.2016 Date de dépôt international : 14.07.2015
CIB :
B08B 7/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
08
NETTOYAGE
B
NETTOYAGE EN GÉNÉRAL; PROTECTION CONTRE LA SALISSURE EN GÉNÉRAL
7
Nettoyage par des procédés non prévus dans une seule autre sous-classe ou un seul groupe de la présente sous-classe
Déposants : CHANGCHUN INSTITUTE OF OPTICS, FINE MECHANICS AND PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCE[CN/CN]; LI, Wai No.3888 Dongnanhudalu Changchun, Jilin 130033, CN
Inventeurs : LU, Qipeng; CN
SONG, Yuan; CN
PENG, Zhongqi; CN
GONG, Xuepeng; CN
WANG, Yi; CN
Mandataire : CHANGCHUN JINGHUA PATENT TRADEMARK AGENT LAW OFFICE; CN
Données relatives à la priorité :
201410345343.118.07.2014CN
Titre (EN) HYDROGEN ATOM COLLECTION DEVICE AND CLEANING METHOD FOR CLEANING CONTAMINATED OPTICAL ELEMENT
(FR) DISPOSITIF COLLECTEUR D'ATOMES D'HYDROGÈNE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE POUR LE NETTOYAGE D'ÉLÉMENT OPTIQUE CONTAMINÉ
(ZH) 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
Abrégé :
(EN) Provided is a hydrogen atom collection device for cleaning a contaminated optical element, comprising a hydrogen atom generator (1), a quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2), a heating belt (3) and a sample holder (4), wherein the hydrogen atom generator (1) is connected to one end of the quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2), and a gas outlet of the hydrogen atom generator (1) is provided at a focus of the quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2); the sample holder (4) is arranged on a sample holder support (5), the sample holder support (5) is connected to the other end of the quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2), and the central position of the sample holder (4) is arranged at the other focus of the quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2); and the heating belt (3) is arranged on the outer surface of the quartz ellipsoidal mirror collection cavity (2). The hydrogen atom collection device is used to clean the contaminated optical element, and has a high hydrogen atom collection efficiency and a rapid cleaning rate.
(FR) L'invention concerne un dispositif collecteur d'atomes d'hydrogène pour le nettoyage d'un élément optique contaminé, comprenant un générateur d'atomes d'hydrogène (1), une cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2), une courroie chauffante (3) et un porte-échantillon (4), dans lequel le générateur d'atomes d'hydrogène (1) est relié à une extrémité de la cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2), et une sortie de gaz du générateur d'atomes d'hydrogène (1) est disposée au niveau d'un foyer de la cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2); le porte-échantillon (4) est agencé sur un support de porte-échantillon (5), le support de porte-échantillon (5) est relié à l'autre extrémité de la cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2), et la position centrale du porte-échantillon (4) est agencée au niveau de l'autre foyer de la cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2); et la courroie chauffante (3) est disposée sur la surface extérieure de la cavité collectrice à miroir ellipsoïdal de quartz (2). Le dispositif collecteur d'atomes d'hydrogène est utilisé pour nettoyer l'élément optique contaminé, et présente une efficacité élevée de collecte d'atomes d'hydrogène et une vitesse de nettoyage rapide.
(ZH) 一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置,包括:氢原子发生器(1)、石英椭球镜收集腔(2)、加热带(3)和样品夹(4),所述的氢原子发生器(1)与石英椭球镜收集腔(2)的一端连接,且氢原子发生器(1)的出气口设置于石英椭球镜收集腔(2)的一个焦点处,样品夹(4)设置在样品夹支架(5)上,样品夹支架(5)与石英椭球镜收集腔(2)的另一端连接,且样品夹(4)中心位置设置于石英椭球镜收集腔(2)的另外一个焦点处,所述的加热带(3)设置在石英椭球镜收集腔(2)的外表面。利用所述的氢原子收集装置对受污染光学元件进行清洗,氢原子收集效率高、清洗速率快。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)