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1. (WO2016007214) SERRAGE MAGNÉTIQUE DE MASQUE AVEC RÉSEAU DE HALBACH

Pub. No.:    WO/2016/007214    International Application No.:    PCT/US2015/029263
Publication Date: Fri Jan 15 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed May 06 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 21/683
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: VERCESI, Tommaso
WANG, Zuoqian
WHITE, John M.
Title: SERRAGE MAGNÉTIQUE DE MASQUE AVEC RÉSEAU DE HALBACH
Abstract:
L'invention concerne un système de traitement pour serrer un masque sur un substrat. Le système de traitement comprend une chambre de traitement et un mandrin magnétique disposé dans la chambre de traitement. Le mandrin magnétique comprend une surface de serrage, un ou plusieurs mécanismes de rotation, et une pluralité d'aimants orientés dans un ou plusieurs réseaux de Halbach par rapport à la surface de serrage. Chaque aimant possède un pôle nord orienté dans l'une de quatre directions. Le ou les mécanismes de rotation sont couplés pour changer la direction du pôle nord d'au moins un des aimants.