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1. (WO2016007214) SERRAGE MAGNÉTIQUE DE MASQUE AVEC RÉSEAU DE HALBACH
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/007214    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/029263
Date de publication : 14.01.2016 Date de dépôt international : 05.05.2015
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : VERCESI, Tommaso; (IT).
WANG, Zuoqian; (US).
WHITE, John M.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
62/022,178 08.07.2014 US
Titre (EN) MAGNETIC CHUCKING OF MASK WITH HALBACH ARRAY
(FR) SERRAGE MAGNÉTIQUE DE MASQUE AVEC RÉSEAU DE HALBACH
Abrégé : front page image
(EN)A processing system for chucking a mask to a substrate is provided. The processing system includes a process chamber and a magnetic chuck disposed in the process chamber. The magnetic chuck includes a chucking surface, one or more rotation mechanisms, and a plurality of magnets oriented in one or more Halbach arrays relative to the chucking surface. Each magnet has a north pole oriented in one of four directions. The one or more rotation mechanisms are coupled to change the direction of the north pole of at least one of the magnets.
(FR)L'invention concerne un système de traitement pour serrer un masque sur un substrat. Le système de traitement comprend une chambre de traitement et un mandrin magnétique disposé dans la chambre de traitement. Le mandrin magnétique comprend une surface de serrage, un ou plusieurs mécanismes de rotation, et une pluralité d'aimants orientés dans un ou plusieurs réseaux de Halbach par rapport à la surface de serrage. Chaque aimant possède un pôle nord orienté dans l'une de quatre directions. Le ou les mécanismes de rotation sont couplés pour changer la direction du pôle nord d'au moins un des aimants.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)