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1. (WO2016006789) DISPOSITIF DE RÉACTION AU PLASMA À BASSE PRESSION POUR LE TRAITEMENT DE FLUIDE D'ÉCHAPPEMENT

Pub. No.:    WO/2016/006789    International Application No.:    PCT/KR2015/002222
Publication Date: Fri Jan 15 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Mar 10 00:59:59 CET 2015
IPC: H05H 1/46
C23C 16/505
H01L 21/3065
Applicants: CLEAN FACTORS CO., LTD.
(주)클린팩터스
NOH, Myungkeun
노명근
MOON, Kyungsun
문경순
Inventors: NOH, Myungkeun
노명근
MOON, Kyungsun
문경순
KO, Gyoung O
고경오
Title: DISPOSITIF DE RÉACTION AU PLASMA À BASSE PRESSION POUR LE TRAITEMENT DE FLUIDE D'ÉCHAPPEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de réaction au plasma à basse pression permettant le traitement de fluide d'échappement même lorsqu'un fluide d'échappement d'une chambre de traitement contient un gaz à base de fluorure ou de chlorure, le dispositif comprenant une unité de génération de champ magnétique et un boîtier de telle sorte que le fluide d'échappement peut être traité en continu en réduisant au minimum la gravure de surface à l'intérieur d'un diélectrique en raison de la collision d'ions et traité sans risque en ayant une structure à double chambre. A cet effet, la présente invention porte sur le réacteur au plasma à basse pression pour lequel une valeur d'un champ magnétique, qui induit une diminution dans la gravure de surface du diélectrique due à des ions de plasma, est optimisée et appliquée et dont le boîtier scelle physiquement un tube diélectrique, une électrode de commande entourant la surface extérieure du tube diélectrique sous une forme d'anneau, et l'unité de génération de champ magnétique, et peut être protégé vis-à-vis de l'électromagnétisme.