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1. (WO2016006671) CAPTEUR ULTRASONORE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/006671    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/069810
Date de publication : 14.01.2016 Date de dépôt international : 09.07.2015
CIB :
H04R 17/00 (2006.01), A61B 8/00 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H04R 31/00 (2006.01)
Déposants : SEIKO EPSON CORPORATION [JP/JP]; 1-6, Shinjuku 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1608801 (JP)
Inventeurs : KOJIMA, Chikara; (JP)
Mandataire : KURIHARA, Hiroyuki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-141778 09.07.2014 JP
Titre (EN) ULTRASONIC SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CAPTEUR ULTRASONORE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
(JA) 超音波センサー及びその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An ultrasonic sensor provided with: a substrate having at least one opening part 18; a diaphragm 50 provided on the substrate so as to close up the opening part 18; a plurality of first electrodes 14 provided on a side of the diaphragm 50 opposite the opening part 18 so as to be aligned in a direction Y, the first electrodes 14 extending in a direction X orthogonal to the direction Y; a plurality of second electrodes 16 provided on a side of the diaphragm 50 opposite the opening part 18 so as to be aligned in the direction X, the second electrodes 16 extending in the direction Y; and a plurality of piezoelectric layers 15 provided between the first electrodes 14 and the second electrodes 16 in a section in which at least the first electrodes 14 and the second electrodes 16 intersect, wherein the ultrasonic sensor is provided with two or more ultrasonic elements in which the area of an active part relative to the area of a movable part is different in plan view, where the active part is defined as a section in which the first electrodes 14, the piezoelectric layers 15, and the second electrodes 16 overlap in a direction Z orthogonal to the direction X and the direction Y, the movable part is defined as a region in which the diaphragm 50 is capable of vibrating due to driving by the active part, and a single ultrasonic element is defined as a unit comprising one movable part and an active part provided within the one movable part in plan view.
(FR)L'invention concerne un capteur ultrasonore qui est muni : d'un substrat possédant au moins une partie ouverture (18); d'un diaphragme (50) agencé sur ledit substrat de manière à boucher la partie ouverture (18); d'une pluralité de premières électrodes (14) qui est agencée côté opposé à ladite partie ouverture (18) sur ledit diaphragme (50) de manière à être rangée dans une direction Y, et qui se prolonge dans une direction X perpendiculaire à ladite direction Y; d'une pluralité de secondes électrodes (16) qui est agencée côté opposé à ladite partie ouverture (18) sur ledit diaphragme (50) de manière à être rangée dans ladite direction X, et qui se prolonge dans ladite direction Y; et d'une pluralité de couches piézoélectriques (15) agencée entre lesdites premières électrodes (14) et lesdites secondes électrodes (16), dans une portion dans laquelle au moins lesdites premières électrodes (14) et lesdites secondes électrodes (16) se croisent. En outre, l'objet de l'invention est muni de deux éléments ultrasonores ou plus tels que lorsque dans une direction Z perpendiculaire aux dites direction X et Y, les portions dans lesquelles se superposent lesdites premières électrodes (14), lesdites couches piézoélectriques (15) et lesdites secondes électrodes (16), constituent des parties actives, et des régions dans lesquelles ledit diaphragme (50) peut vibrer du fait d'un entraînement par lesdites parties actives, constituent des parties mobiles, et selon une vue en plan, une unité constituée d'une partie active et de ladite partie mobile agencée à l'intérieur de cette partie active, constitue un élément ultrasonore, alors, selon une vue en plan, la surface desdites parties actives est différente de celle desdites parties mobiles.
(JA)少なくとも一つの開口部18を有する基板と、前記開口部18を塞ぐように前記基板に設けられた振動板50と、前記振動板50の前記開口部18とは反対側に、Y方向に並ぶように設けられ、前記Y方向と直交するX方向にのびる、複数の第1電極14と、前記振動板50の前記開口部18とは反対側に、前記X方向に並ぶように設けられ、前記Y方向にのびる、複数の第2電極16と、少なくとも前記第1電極14と前記第2電極16とが交差する部分において、前記第1電極14と前記第2電極16の間に設けられる複数の圧電体層15と、を具備する超音波センサーであって、前記X方向及び前記Y方向と直交するZ方向において、前記第1電極14と前記圧電体層15と前記第2電極16とが重なっている部分を能動部とし、前記振動板50が前記能動部の駆動により振動できる領域を可動部とし、平面視において、1つの前記可動部と、前記1つの可動部内に設けられる前記能動部とからなる単位を、1つの超音波素子としたとき、平面視において、前記可動部の面積に対する前記能動部の面積が異なる2種以上の超音波素子を具備する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)