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1. (WO2016005568) ACTIONNEUR, DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN ACTIONNEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/005568    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/065858
Date de publication : 14.01.2016 Date de dépôt international : 10.07.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : DAMS, Johannes, Adrianus, Antonius, Theodorus; (NL).
ENGELEN, Dirk Hendrikus Marinus; (NL).
HEIJMANS, Peter, Michel, Silvester, Maria; (NL).
MARTENS, Simon, Bernardus, Cornelis, Maria; (NL).
BUTLER, Hans; (NL).
DE GROOT, Antonius, Franciscus, Johannes; (NL)
Mandataire : VAN DE VEN, Jan-PIet; (NL)
Données relatives à la priorité :
14176747.5 11.07.2014 EP
15155240.3 16.02.2015 EP
Titre (EN) ACTUATOR, POSITIONING DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR, DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN ACTIONNEUR
Abrégé : front page image
(EN)An actuator (51) comprises: coil assemblies (60) arranged in an array, wherein each coil assembly defines a core chamber (61) having a core chamber height (61d); and at least one magnetic member (62) that extends partly along the core chamber height of the core chamber of a corresponding at least one coil assembly, wherein the at least one magnetic member is made of a magnetic material. At least one of a shape of the at least one magnetic member, a size of the at least one magnetic member, a position of the at least one magnetic member and the magnetic material of the at least one magnetic member may be selected so as to control one or more parameters of the actuator.
(FR)Un actionneur (51) comprend: des ensembles de bobines (60) agencés dans un réseau, dans lequel chaque ensemble de bobine définit une chambre centrale (61) ayant une hauteur de chambre centrale (61d); et au moins un élément magnétique (62) qui s'étend partiellement le long de la hauteur de chambre centrale de la chambre centrale d'au moins un ensemble de bobine correspondant, ledit au moins un élément magnétique étant constitué d'un matériau magnétique. L'un au moins de la forme dudit au moins un élément magnétique, de la taille dudit au moins un élément magnétique, de la position dudit au moins un élément magnétique et du matériau magnétique dudit au moins un élément magnétique peut être choisi de manière à commander un ou plusieurs paramètres de l'actionneur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)