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1. (WO2016005476) DISPOSITIF DE PULVÉRISATION À CIBLE MOBILE

Pub. No.:    WO/2016/005476    International Application No.:    PCT/EP2015/065645
Publication Date: Fri Jan 15 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jul 09 01:59:59 CEST 2015
IPC: C23C 14/34
C23C 14/56
H01J 37/34
Applicants: SOLERAS ADVANCED COATINGS BVBA
Inventors: DE BOSSCHER, Wilmert
VAN DE PUTTE, Ivan
Title: DISPOSITIF DE PULVÉRISATION À CIBLE MOBILE
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de pulvérisation (100) permettant de déposer une couche sur un substrat dans une chambre à vide, la couche présentant une propriété de couche dans chaque point de la surface de substrat. Le dispositif de pulvérisation comprend un ou plusieurs blocs d'extrémité (120) adaptés à maintenir chacun une cible cylindrique (160) présentant un axe longitudinal dans une première direction. Le dispositif de pulvérisation comprend en outre un premier moyen d'entraînement (190) permettant de fournir un mouvement de rotation de la/des cible(s) cylindrique(s) (160) autour de son axe longitudinal. Le dispositif de pulvérisation comprend également un second moyen d'entraînement (145) permettant d'appliquer un mouvement de translation au(x) bloc(s) d'extrémité (120) dans une seconde direction, ce qui permet de maintenir l'axe de cible parallèle sur au moins une partie significative de la trajectoire de mouvement le long de la seconde direction. Les premier et second moyens d'entraînement sont adaptés à, pendant la pulvérisation, être simultanément opérationnels dans la chambre à vide. Le mouvement du premier moyen d'entraînement n'a pas d'impact sur l'uniformité de la couche pulvérisée sur le substrat dans la direction sur la surface du substrat correspondant à une saillie perpendiculaire de la seconde direction sur le substrat (170).