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1. (WO2016003598) EFFECTEUR TERMINAL DE ROBOT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/003598    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/034333
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 05.06.2015
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : AGARWAL, Pulkit; (US).
GREENBERG, Daniel; (US).
SUH, Song-Moon; (US).
BRODINE, Jeffrey; (US).
SANSONI, Steven V.; (US).
MORI, Glen; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; (US)
Données relatives à la priorité :
62/020,769 03.07.2014 US
14/476,224 03.09.2014 US
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSFER ROBOT END EFFECTOR
(FR) EFFECTEUR TERMINAL DE ROBOT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of apparatus for supporting a substrate are disclosed herein. In some embodiments, an apparatus for supporting a substrate includes a support member; and a plurality of substrate contact elements protruding from the support member, wherein each of the plurality of substrate contact elements includes: a first contact surface to support a substrate when placed thereon; and a second contact surface extending from the first contact surface, wherein the second contact surface is adjacent a periphery of the substrate to prevent radial movement of the substrate, wherein the first contact surface is at a first angle with respect to the support member and the second contact surface is at a second angle with respect to the support member, and wherein the first angle is between about (3) degrees and (5) degrees.
(FR)Selon des modes de réalisation, l'invention concerne un appareil de support de substrat. Dans certains modes de réalisation, l'appareil de support de substrat comprend un élément de support ; une pluralité d'éléments de contact de substrat faisant saillie sur l'élément de support, la pluralité d'éléments de contact de substrat comprenant chacun : une première surface de contact pour porter un substrat quand il est placé dessus ; une seconde surface de contact s'étendant à partir de la première surface de contact, la seconde surface de contact état adjacente à une périphérie du substrat pour empêcher un mouvement radial du substrat, la première surface de contact étant orientée selon un premier angle par rapport à l'élément de support et la seconde surface de contact étant orientée selon un second angle par rapport à l'élément de support, le premier angle étant compris entre environ (3) degrés et (5) degrés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)