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1. (WO2016003575) MODULATION DE CONTRAINTE LOCALISÉE POUR UNE ERREUR DE RECOUVREMENT ET UNE ERREUR DE DISPOSITION DES BORDS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/003575 N° de la demande internationale : PCT/US2015/033810
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 02.06.2015
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : YIEH, Ellie Y.; US
DAI, Huixiong; US
NEMANI, Srinivas D.; US
GODET, Ludovic; US
BENCHER, Christopher Dennis; US
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; US
Données relatives à la priorité :
62/020,24402.07.2014US
Titre (EN) LOCALIZED STRESS MODULATION FOR OVERLAY AND EPE
(FR) MODULATION DE CONTRAINTE LOCALISÉE POUR UNE ERREUR DE RECOUVREMENT ET UNE ERREUR DE DISPOSITION DES BORDS
Abrégé :
(EN) Embodiments of the disclosure provide apparatus and methods for localized stress modulation for overlay and edge placement error (EPE) using electron or ion implantation. In one embodiment, a process for correcting overlay error on a substrate generally includes performing a measurement process in a metrology tool on a substrate to obtain a substrate distortion or an overlay error map, determining doping parameters to correct overlay error or substrate distortion based on the overlay error map, and providing a doping recipe to a doping apparatus based on the doping parameters determined to correct substrate distortion or overlay error. Embodiments may also provide performing a doping treatment process on the substrate using the determined doping repair recipe, for example, by comparing the overlay error map or substrate distortion with a database library stored in a computing system.
(FR) Selon des modes de réalisation, l'invention concerne un appareil et des procédés de modulation de contrainte localisée pour une erreur de recouvrement et une erreur de disposition des bords (EPE) à l'aide d'une implantation électronique ou ionique. Dans un mode de réalisation, un procédé de correction d'une erreur de recouvrement sur un substrat comprend, de manière générale, l'exécution d'un processus de mesure dans un outil de métrologie sur un substrat pour obtenir une distorsion du substrat ou une carte d'erreur de recouvrement, la détermination de paramètres de dopage dans le but de corriger l'erreur de recouvrement ou la distorsion du substrat en fonction de la carte d'erreur de recouvrement, et la transmission d'une recette de dopage à un appareil de dopage suivant les paramètres de dopage déterminés afin de corriger la distorsion du substrat ou l'erreur de recouvrement. Des modes de réalisation peuvent également impliquer l'exécution d'un processus de traitement par dopage sur le substrat au moyen de la recette de résolution par dopage déterminée, par exemple, par comparaison de la carte d'erreur de recouvrement ou de la distorsion du substrat avec une bibliothèque de base de données mémorisée par un système informatique.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)