WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2016003472) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT MULTI-AXIAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/003472    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/045464
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 03.07.2014
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : NEWPORT CORPORATION [US/US]; 1791 Deere Avenue Irvine, CA 92606 (US)
Inventeurs : JEANNE, Alain; (FR).
BAILLOUX, Stephane; (FR).
COURTEMANCHE, Laurent; (FR)
Mandataire : ANDERSON, William, B.; Anderson IP, Inc. c/o CPA Global 900 Second Avenue South, Suite 600 Minneapolis, MN 55402 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) MULTI-AXIS POSITIONING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT MULTI-AXIAL
Abrégé : front page image
(EN)A multi-axis positioning system that may be used in conjunction with an inspection system includes multiple position sensors corresponding to multiple axes in conjunction with multiple motors also corresponding to multiple axes to provide high accuracy, high load and extended travel for controllable movement of an object in up to 6 degrees of freedom. Some embodiments of the multi-axis positioning system may include and x-y stage assembly, a bottom plate assembly coupled to the x-y stage assembly, a top plate assembly coupled to the bottom plate assembly, and a chuck secured to the top plate assembly with multiple position sensors configured to measure displacement between the x-y stage assembly and top plate assembly.
(FR)L'invention concerne un système de positionnement multi-axial qui peut être utilisé conjointement à un système d'inspection, comprenant plusieurs capteurs de position correspondant à plusieurs axes, conjointement à plusieurs moteurs correspondant également à plusieurs axes en vue d'assurer une précision élevée, une charge élevée et une course étendue pour le déplacement commandable d'un objet avec jusqu'à 6 degrés de liberté. Certains modes de réalisation du système de positionnement multi-axial peuvent comprendre un ensemble étagé x-y, un ensemble plaque inférieure couplé à l'ensemble étagé x-y, un ensemble plaque supérieure couplé à l'ensemble plaque inférieure et un mandrin fixé à l'ensemble plaque supérieure avec plusieurs capteurs de position conçus pour mesurer un déplacement entre l'ensemble étagé x-y et l'ensemble plaque supérieure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)