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1. (WO2016003153) DÉTECTEUR POUR DÉTECTER UNE CHARGE ÉLECTROSTATIQUE DANS UN CORPS CHARGÉ ET DISPOSITIF DE MESURE ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/003153 N° de la demande internationale : PCT/KR2015/006690
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 30.06.2015
CIB :
G01R 29/24 (2006.01)
Déposants : SUNJE CO., LTD[KR/KR]; Chung khwang-gil 8, ilkwangmyeon Giganggun Busan 619-913, KR
Inventeurs : LEE, Dong Hoon; KR
JUNG, Yong Chul; KR
LEE, Sang Deok; KR
KIM, Hee Muk; KR
KIM, Seong Hoon; KR
KWON, Tae Kyu; KR
Mandataire : KIM, Hong Ghil; KR
Données relatives à la priorité :
10-2014-008157201.07.2014KR
Titre (EN) DETECTOR FOR DETECTING ELECTROSTATIC CHARGE IN CHARGED BODY AND MEASURING DEVICE FOR SAME
(FR) DÉTECTEUR POUR DÉTECTER UNE CHARGE ÉLECTROSTATIQUE DANS UN CORPS CHARGÉ ET DISPOSITIF DE MESURE ASSOCIÉ
(KO) 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치
Abrégé : front page image
(EN) Proposed are a detector for detecting an electrostatic charge in a charged body and a measuring device for same. More particularly, provided are a "detector for detecting an electrostatic charge in a charged body and a measuring device for same", which are capable of detecting and measuring the amount of electrostatic charge existing in a charged body, by using a conductive shutter plate that opens and closes a conductive plate separated a predetermined distance from the charged body at predetermined intervals, to generate a predetermined current in the conductive plate and convert the current to voltage for measuring same. When the proposed detector for detecting an electrostatic charge in a charged body and the measuring device for same are used, the amount of electrostatic charge existing in a charged body can be detected in real time, so that measures can immediately be taken when a charged body such as a wafer or a display has more than a certain level of electrostatic charge. Also, because the detector can be manufactured in a small size, there is the advantage that it can be easily installed in a tight space.
(FR) L'invention concerne un détecteur pour détecter une charge électrostatique dans un corps chargé et un dispositif de mesure associé. Plus particulièrement, l'invention porte sur un "détecteur pour détecter une charge électrostatique dans un corps chargé et un dispositif de mesure associé", qui sont capables de détecter et de mesurer la quantité de charge électrostatique existant dans un corps chargé, en utilisant une plaque d'obturation conductrice qui ouvre et ferme une plaque conductrice séparée d'une distance prédéterminée du corps chargé à des intervalles prédéterminés, pour générer un courant prédéterminé dans la plaque conductrice et convertir le courant en tension pour mesure celle-ci. Lorsque le détecteur proposé pour détecter une charge électrostatique dans un corps chargé et le dispositif de mesure associé sont utilisés, la quantité de charge électrostatique existant dans un corps chargé peut être détectée en temps réel, si bien que des mesures peuvent être réalisées immédiatement quand un corps chargé, comme une plaquette ou un dispositif d'affichage, présente plus qu'un certain niveau de charge électrostatique. En outre, étant donné que le détecteur peut être fabriqué en une petite taille, l'avantage est qu'il peut être facilement installé dans un espace restreint.
(KO) 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치가 제안된다. 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"가 제안된다. 제안된 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)