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1. (WO2016002982) UNITÉ SOURCE D'ÉVAPORATION ET DISPOSITIF DE DÉPÔT

Pub. No.:    WO/2016/002982    International Application No.:    PCT/KR2014/005820
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Jul 01 01:59:59 CEST 2014
IPC: H01L 51/56
H01L 21/02
Applicants: SUNIC SYSTEM, LTD
주식회사 선익시스템
Inventors: CHOI, Jae Soo
최재수
LEE, Jung Gyun
이정균
LEE, Hyoun Sung
이현성
LEE, Kyung Seok
이경석
Title: UNITÉ SOURCE D'ÉVAPORATION ET DISPOSITIF DE DÉPÔT
Abstract:
La présente invention concerne une unité source d'évaporation et un dispositif de dépôt. Un aspect de la présente invention concerne une unité source d'évaporation agencée à l'intérieur d'une chambre de dépôt afin de mettre en œuvre un dépôt par rapport à un substrat. L'unité source d'évaporation comprend : un boîtier inférieur ayant une extrémité supérieure ouverte ; une unité de chauffage en forme de barillet, positionnée dans le boîtier inférieur et conçue de façon à se déplacer vers le haut/vers le bas ; une unité rail accouplée à l'extrémité supérieure du boîtier inférieur dans la direction transversale et conçue de façon à guider un mouvement rectiligne ; un boîtier supérieur ayant une extrémité inférieure ouverte montée sur l'unité rail de sorte que, lorsque celui-ci se déplace le long de l'unité rail, il forme un seul bloc avec le boîtier inférieur ou il est séparé de ce dernier ; et un creuset positionné dans le boîtier supérieur de sorte que, lorsque l'unité de chauffage se déplace vers le haut/vers le bas, le creuset soit amené dans l'unité de chauffage ou extrait de celle-ci.