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1. (WO2016002971) CAPTEUR ULTRASONIQUE

Pub. No.:    WO/2016/002971    International Application No.:    PCT/JP2015/069455
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Jul 07 01:59:59 CEST 2015
IPC: H04R 17/00
A61B 8/00
H01L 41/113
Applicants: SEIKO EPSON CORPORATION
セイコーエプソン株式会社
Inventors: KOJIMA, Chikara
小島 力
Title: CAPTEUR ULTRASONIQUE
Abstract:
 L’invention concerne un capteur ultrasonique (1) comportant un substrat dans lequel une partie d’ouverture (18) est formée, une membrane (50) disposée sur le substrat de façon à fermer la partie d’ouverture, et un élément ultrasonique (10) comprenant une première électrode (14), une couche piézoélectrique (15) et une seconde électrode (16) empilées sur un côté de la membrane (50) opposé à la partie d’ouverture (18), une partie active étant agencée de façon à être tournée vers une partie mobile, la forme externe de la partie active étant plus petite que la forme externe de la partie mobile dans une vue en plan, et une partie de réglage de fréquence de résonance (21) pour régler une fréquence de résonance étant disposée dans une zone sur le côté de la partie active tournée vers au moins la partie mobile, une direction Z étant définie comme étant la direction dans laquelle la première électrode (14), la couche piézoélectrique (15) et la seconde électrode (16) sont empilées, la partie active étant définie comme étant une section dans laquelle la première électrode (14), la couche piézoélectrique (15) et la seconde électrode (16) se chevauchent dans la direction Z, et la partie mobile étant définie comme étant une plage dans laquelle la membrane est apte à vibrer en raison de l’entraînement par la partie active.