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1. (WO2016002971) CAPTEUR ULTRASONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/002971    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/069455
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 06.07.2015
CIB :
H04R 17/00 (2006.01), A61B 8/00 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01)
Déposants : SEIKO EPSON CORPORATION [JP/JP]; 1-6, Shinjuku 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1608801 (JP)
Inventeurs : KOJIMA, Chikara; (JP)
Mandataire : KURIHARA, Hiroyuki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-139061 04.07.2014 JP
Titre (EN) ULTRASONIC SENSOR
(FR) CAPTEUR ULTRASONIQUE
(JA) 超音波センサー
Abrégé : front page image
(EN) An ultrasonic sensor 1 provided with a substrate in which an opening part 18 is formed, a diaphragm 50 provided on the substrate so as to close up the opening part, and an ultrasonic element 10 including a first electrode 14, a piezoelectric layer 15, and a second electrode 16 stacked on a side of the diaphragm 50 opposite the opening part 18, wherein an active part is arranged facing a movable part, the outer shape of the active part is smaller than the outer shape of the movable part in plan view, and a resonance frequency adjustment part 21 for adjusting a resonance frequency is provided in an area on the side of the active part facing at least the movable part, where a direction Z is defined as the direction in which the first electrode 14, the piezoelectric layer 15, and the second electrode 16 are stacked, the active part is defined as a section in which the first electrode 14, the piezoelectric layer 15, and the second electrode 16 overlap in the direction Z, and the movable part is defined as a range in which the diaphragm is able to vibrate due to driving by the active part.
(FR) L’invention concerne un capteur ultrasonique (1) comportant un substrat dans lequel une partie d’ouverture (18) est formée, une membrane (50) disposée sur le substrat de façon à fermer la partie d’ouverture, et un élément ultrasonique (10) comprenant une première électrode (14), une couche piézoélectrique (15) et une seconde électrode (16) empilées sur un côté de la membrane (50) opposé à la partie d’ouverture (18), une partie active étant agencée de façon à être tournée vers une partie mobile, la forme externe de la partie active étant plus petite que la forme externe de la partie mobile dans une vue en plan, et une partie de réglage de fréquence de résonance (21) pour régler une fréquence de résonance étant disposée dans une zone sur le côté de la partie active tournée vers au moins la partie mobile, une direction Z étant définie comme étant la direction dans laquelle la première électrode (14), la couche piézoélectrique (15) et la seconde électrode (16) sont empilées, la partie active étant définie comme étant une section dans laquelle la première électrode (14), la couche piézoélectrique (15) et la seconde électrode (16) se chevauchent dans la direction Z, et la partie mobile étant définie comme étant une plage dans laquelle la membrane est apte à vibrer en raison de l’entraînement par la partie active.
(JA) 開口部18が形成された基板と、前記開口部を塞ぐように前記基板に設けられた振動板50と、前記振動板50の前記開口部18とは反対側に積層された第1電極14と圧電体層15と第2電極16とを含む超音波素子10と、を具備する超音波センサー1であって、前記第1電極14と前記圧電体層15と前記第2電極16とが積層される方向をZ方向とし、前記Z方向において前記第1電極14と前記圧電体層15と前記第2電極16とが重なっている部分を能動部とし、当該能動部の駆動により前記振動板が振動できる範囲を可動部したとき、前記能動部は、前記可動部に対向して配置されており、平面視において、前記能動部の外形は前記可動部の外形よりも小さく、前記能動部の側方の、少なくとも前記可動部と対向する領域に、共振周波数を調整する共振周波数調整部21が設けられる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)