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1. (WO2016002648) DISPOSITIF LASER, SYSTÈME DE GÉNÉRATION D'UV EXTRÊME ET PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/002648    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/068468
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 26.06.2015
CIB :
H01S 3/134 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), H01S 3/097 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : KAWASUJI, Yasufumi; (JP).
TAKAOKA, Naoya; (JP).
YOKOZUKA, Toshio; (JP)
Mandataire : TOU-OU PATENT FIRM; Urban Toranomon Bldg., 16-4, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
PCT/JP2014/067509 01.07.2014 JP
Titre (EN) LASER DEVICE, EUV GENERATION SYSTEM, AND METHOD FOR CONTROLLING LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER, SYSTÈME DE GÉNÉRATION D'UV EXTRÊME ET PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF LASER
(JA) レーザ装置、EUV光生成システム及びレーザ装置の制御方法
Abrégé : front page image
(EN)This laser device may contain an optical amplifier that amplifies laser light outputted by a master oscillator, an optical-amplifier power supply that supplies an AC current to said optical amplifier, and a laser controller. The optical-amplifier power supply may contain the following: an AC-current generation circuit that contains an inverter circuit, the output amplitude of which is varied in accordance with a duty cycle, and generates an AC current from the output of said inverter circuit; and a power-supply control circuit that stores control information that defines a correspondence relationship between command values from the abovementioned laser controller and duty cycles for the inverter circuit, uses said control information to determine the duty cycle corresponding to a command value received from the laser controller, and provides the determined duty cycle to the inverter circuit.
(FR)Ce dispositif laser peut contenir un amplificateur optique qui amplifie la lumière laser émise par un oscillateur maître, une alimentation électrique qui fournit un courant alternatif audit amplificateur optique, et un dispositif de commande de laser. L'alimentation électrique de l'amplificateur optique peut contenir les éléments suivants: un circuit de génération de courant alternatif qui contient un circuit inverseur dont l'amplitude de sortie varie en fonction d'un rapport cyclique, et génère un courant alternatif par la sortie dudit circuit inverseur; et un circuit de commande d'alimentation électrique qui stocke des informations de commande définissant une relation de correspondance entre des valeurs de commande issues du dispositif de commande laser et des rapports cycliques précités pour le circuit inverseur, qui utilise lesdites informations de commande pour déterminer le rapport cyclique correspondant à une valeur de commande reçue du dispositif de commande laser, et qui fournit le rapport cyclique déterminé au circuit inverseur.
(JA) レーザ装置は、マスタオシレータから出力されるレーザ光を増幅する光増幅器と、光増幅器に交流電流を供給する光増幅器電源と、レーザコントローラと、を含んでもよい。光増幅器電源は、デューティ比に応じて出力振幅を変化させるインバータ回路を含み、インバータ回路の出力から交流電流を生成する、交流電流生成回路と、レーザコントローラからの指令値とインバータ回路のデューティ比との対応関係を定義する制御情報を保持し、レーザコントローラから受信した指令値に対応するデューティ比を前記制御情報に基づいて決定し、決定したデューティ比をインバータ回路に与える電源制御回路と、を含んでもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)