Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016002554) PROCEDE D'EVALUATION DE QUALITE POUR STRATIFIE COMPORTANT UNE COUCHE DE PROTECTION SUR LA SURFACE D'UNE COUCHE MINCE D'OXYDE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE CONTROLE QUALITE POUR COUCHE MINCE D'OXYDE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2016/002554    International Application No.:    PCT/JP2015/067848
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Jun 23 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 21/66
H01L 21/28
H01L 21/336
H01L 29/786
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO(KOBE STEEL, LTD.)
株式会社神戸製鋼所
Inventors: HAYASHI, Kazushi
林 和志
MIKI, Aya
三木 綾
KAWAKAMI, Nobuyuki
川上 信之
Title: PROCEDE D'EVALUATION DE QUALITE POUR STRATIFIE COMPORTANT UNE COUCHE DE PROTECTION SUR LA SURFACE D'UNE COUCHE MINCE D'OXYDE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE CONTROLE QUALITE POUR COUCHE MINCE D'OXYDE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne un procédé permettant d'évaluer de manière simple des défauts produits dans des états d'interface de couches minces d'oxyde semi-conducteur et des couches protectrices de TFT comportant des couches de protection formées sur la surface de couches minces d'oxyde semi-conducteur, sans mesurer réellement les caractéristiques correspondantes. Ce procédé d'évaluation des défauts produits dans des états d'interface consiste à mesurer des états d'électrons dans le film mince d'oxyde semi-conducteur au moyen d'un procédé avec contact ou d'un procédé sans contact. Les défauts produits dans les états d'interface sont l'un quelconque des éléments suivants (1) - (3) : (1) tension de valeur de seuil (Vth) lorsqu'une polarisation positive est appliquée au transistor à couches minces, (2) différence de tension de valeur de seuil (ΔVth) avant et après l'application de la polarisation positive au transistor à couches minces, (3) valeur de seuil pendant la première mesure lorsqu'une pluralité de mesures de la tension de valeur de seuil sont effectuées lors de l'application d'une polarisation positive au transistor à couches minces.