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1. (WO2016002514) CLAPET À DIAPHRAGME, DISPOSITIF DE RÉGULATION DE FLUIDE, DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2016/002514    International Application No.:    PCT/JP2015/067432
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 18 01:59:59 CEST 2015
IPC: F16K 7/12
F16K 7/14
F16K 7/16
H01L 21/205
H01L 21/3065
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: WATANABE, Kazunari
渡辺 一誠
SHIKATA, Izuru
四方 出
Title: CLAPET À DIAPHRAGME, DISPOSITIF DE RÉGULATION DE FLUIDE, DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
Le rayon de courbure (SR2) d'une surface qui vient en contact avec un diaphragme (5) d'une presse à diaphragme (6) est d'au moins 30 mm. L'angle de conicité (θ) pour une surface inférieure d'un adaptateur (8) de presse ne fait pas plus 10° par rapport à une section plate (14b) d'une surface de sol (14) d'une section évidée (2c) d'un corps (2).