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1. (WO2016002122) MÉCANISME DE ROTATION ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE D'ÉPAISSEUR DE FILM LE COMPRENANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/002122    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/002463
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 15.05.2015
CIB :
F16C 35/067 (2006.01), F16C 19/06 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
Inventeurs : KOTAKA, Manabu; (JP).
FURUSE, Harukuni; (JP).
MAEDA, Akihiro; (JP)
Mandataire : SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-137033 02.07.2014 JP
Titre (EN) ROTATION MECHANISM AND FILM THICKNESS MONITOR INCLUDING SAME
(FR) MÉCANISME DE ROTATION ET DISPOSITIF DE CONTRÔLE D'ÉPAISSEUR DE FILM LE COMPRENANT
(JA) 回転機構及びこの回転機構を備えた膜厚モニター
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a rotation mechanism which is provided with: a motor (2); an output shaft (3) powered by the motor (2) to rotationally drive a rotationally driven body (7); and a roller bearing (6) fitted over the output shaft (3) to support the output shaft (3), the mechanism being adapted such that a rotation drive body (4) is disposed at the top of the output shaft (3) so that the rotation drive body (4) is coupled to the rotationally driven body (7) via a rotational force transfer means (5); and an outer ring (61) of the roller bearing is fitted into grooves (51a, 51b) provided in a rotational force transfer means (8). This allows the present invention to implement a structure which makes the roller bearing resistant to fatigue and thereby achieve a long service life.
(FR)La présente invention porte sur un mécanisme de rotation qui est pourvu : d'un moteur (2) ; d'un arbre de sortie (3) entraîné par le moteur (2) de façon à entraîner en rotation un corps entraîné en rotation (7) ; d'un roulement à rouleaux (6) ajusté sur l'arbre de sortie (3) de façon à porter l'arbre de sortie (3), le mécanisme étant adapté de telle sorte qu'un corps d'entraînement en rotation (4) est disposé au sommet de l'arbre de sortie (3), afin que le corps d'entraînement en rotation (4) soit couplé au corps entraîné en rotation (7) par l'intermédiaire d'un moyen de transfert de force de rotation (5) ; d'une bague externe (61) du roulement à rouleaux ajustée dans des rainures (51a, 51b) faites dans un moyen de transfert de force de rotation (8). Ceci permet à la présente invention de mettre en œuvre une structure qui rend le roulement à rouleaux résistant à la fatigue et, par conséquent, d'obtenir une longue durée de vie.
(JA) 本発明は、モータ(2)と、モータ(2)からの動力を受けて被回転体(7)を回転駆動する出力軸(3)と、出力軸(3)に外挿されて出力軸(3)を支承する転がり軸受(6)とを備え、出力軸(3)の先端部に回転体(4)が設けられ、回転体(4)が回転力伝達手段(5)を介して被回転体(7)に連結されると共に、転がり軸受の外輪(61)が回転力伝達手段(8)に設けた溝部(51a,51b)に嵌合されている回転機構に関する。本発明は、これにより、転がり軸受が疲労し難い構造とし、長寿命とすることが可能となる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)