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1. (WO2016002034) DISPOSITIF À RAYONS X, PROCÉDÉ DE FORMATION D'IMAGE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE, ET SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/002034    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/067734
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 03.07.2014
CIB :
G01N 23/04 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : AOKI, Takashi; (JP)
Mandataire : NISHI, Kazuya; (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) X-RAY DEVICE, IMAGE FORMING METHOD, STRUCTURE MANUFACTURING METHOD, AND STRUCTURE MANUFACTURING SYSTEM
(FR) DISPOSITIF À RAYONS X, PROCÉDÉ DE FORMATION D'IMAGE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE, ET SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE
(JA) X線装置、画像形成方法、構造物の製造方法、及び構造物製造システム
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To minimize the reduction of detection accuracy. [Solution] Provided is an X-ray device comprising an X-ray source 2 that emits X-rays XL; a detector 4 that detects the X-rays XL emitted from the X-ray source 2; and a processor 52 that reconstructs an image by performing correction that increases the value of first projection data obtained from a first region A1 in which an object to be measured, S, is present between the X-ray source 2 and the detector 4, and that decreases the value of second projection data obtained from a second region A2 in which the object to be measured, S, is not present between the X-ray source 2 and the detector 4, where the first region A1 and the second region A2 are regions of the detector 4.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de réduire à un minimum la réduction de la précision de détection. La solution selon l'invention porte sur un dispositif à rayons X comprenant une source de rayons X (2) qui émet des rayons X XL; un détecteur (4) qui détecte les rayons X XL émis en provenance de la source de rayons X (2); et un processeur (52) qui reconstruit une image en réalisant une correction qui augmente la valeur de premières données de projection obtenues à partir d'une première région A1 dans laquelle un objet à mesurer, S, est présent entre la source de rayons X (2) et le détecteur (4), et qui diminue la valeur de secondes données de projection obtenues à partir d'une seconde zone A2 dans laquelle l'objet à mesurer, S, n'est pas présent entre la source de rayons X (2) et le détecteur 4, la première région A1 et la seconde région A2 étant des régions du détecteur (4).
(JA)【課題】検出精度の抑制を低下することができる。 【解決手段】X線XLを射出するX線源2と、X線源2から射出されたX線XLを検出する検出器4と、検出器4の領域のうち、X線源2との間に被測定物Sがある第1領域A1で得られる第1投影データの値を増加させ、X線源2との間に被測定物Sがない第2領域A2で得られる第2投影データの値を減少させる補正処理を行って画像を再構成する処理部52と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)