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1. (WO2016002034) DISPOSITIF À RAYONS X, PROCÉDÉ DE FORMATION D'IMAGE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE, ET SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE

Pub. No.:    WO/2016/002034    International Application No.:    PCT/JP2014/067734
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Jul 04 01:59:59 CEST 2014
IPC: G01N 23/04
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Takashi
青木 貴史
Title: DISPOSITIF À RAYONS X, PROCÉDÉ DE FORMATION D'IMAGE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE, ET SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de réduire à un minimum la réduction de la précision de détection. La solution selon l'invention porte sur un dispositif à rayons X comprenant une source de rayons X (2) qui émet des rayons X XL; un détecteur (4) qui détecte les rayons X XL émis en provenance de la source de rayons X (2); et un processeur (52) qui reconstruit une image en réalisant une correction qui augmente la valeur de premières données de projection obtenues à partir d'une première région A1 dans laquelle un objet à mesurer, S, est présent entre la source de rayons X (2) et le détecteur (4), et qui diminue la valeur de secondes données de projection obtenues à partir d'une seconde zone A2 dans laquelle l'objet à mesurer, S, n'est pas présent entre la source de rayons X (2) et le détecteur 4, la première région A1 et la seconde région A2 étant des régions du détecteur (4).