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1. (WO2016002005) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/002005 N° de la demande internationale : PCT/JP2014/067542
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 01.07.2014
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 27.01.2015
CIB :
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
Déposants : MIRAIAL CO., LTD.[JP/JP]; 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
Inventeurs : TOMITA, Minoru; JP
INOUE, Tadatoshi; JP
Mandataire : SHOBAYASHI, Masayuki; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRATS
(JA) 基板収納容器
Abrégé : front page image
(EN) A substrate storage container (1) according to the present invention has a ventilation passage (801) that includes: a substrate storage space end opening (807) that is in communication with a substrate storage space (27); and an external space end opening (802) that is in communication with a space outside a container body (2). A housing for a filter part has: a nozzle part (83) forming the external space end opening (802); and a filter outer housing part (81, 82, 84) formed separate from the nozzle part (83) to form the substrate storage space end opening (807). A portion, surrounding the external space end opening (802), of the nozzle part (83) has an opening surrounding projection (834) that can contact a gas supply port opening part through which gas is supplied to the external space end opening (802), and that projects beyond the filter outer housing part in the direction toward which the ventilation passage (801) opens at the external space end opening (802).
(FR) La présente invention concerne un récipient (1) de stockage de substrats ayant un passage de ventilation (801) qui comprend : une ouverture (807) d'extrémité d'espace de stockage de substrats qui est en communication avec un espace (27) de stockage de substrats ; et une ouverture (802) d'extrémité d'espace externe qui est en communication avec un espace extérieur à un corps (2) de récipient. Un boîtier pour une partie filtre comporte : une partie (83) buse formant l'ouverture (802) d'extrémité d'espace externe ; et une partie (81, 82, 84) boîtier extérieur de filtre formée séparée de la partie (83) buse afin de former l'ouverture (807) d'extrémité d'espace de stockage de substrats. Une portion, entourant l'ouverture (802) d'extrémité d'espace externe de la partie (83) buse possède une saillie (834) entourant une ouverture qui peut entrer en contact avec une partie ouverture d'orifice d'alimentation en gaz à travers laquelle du gaz est apporté à l'ouverture (802) d'extrémité d'espace externe et qui fait saillie au-delà de la partie boîtier extérieur de filtre dans la direction dans laquelle le passage de ventilation (801) s'ouvre au niveau de l'ouverture (802) d'extrémité d'espace externe.
(JA) 基板収納容器(1)の通気路(801)は、基板収納空間(27)に接続された基板収納空間側開口(807)と、容器本体(2)の外部の空間に接続された外部空間側開口(802)とを有する。フィルタ部ハウジングは、外部空間側開口(802)を形成しているノズル部(83)と、ノズル部(83)と別体で構成され、基板収納空間側開口(807)を形成しているフィルタ外郭ハウジング部(81、82、84)とを有する。ノズル部(83)の部分であって、外部空間側開口(802)の周囲の部分は、外部空間側開口(802)へ気体を供給する気体供給口開口部に当接可能であり、フィルタ外郭ハウジング部よりも、通気路(801)が外部空間側開口(802)において開口する方向に突出している開口周囲突出部(834)を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)