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1. (WO2016001863) OUTIL DE MANIPULATION DE SUBSTRATS, PROCEDE DE MANIPULATION ET REACTEUR EPITAXIAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/001863    N° de la demande internationale :    PCT/IB2015/054975
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 02.07.2015
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : LPE S.P.A. [IT/IT]; Via Falzarego 8 20021 Baranzate (MI) (IT)
Inventeurs : OGLIARI, Vincenzo; (IT).
COREA, Francesco; (IT).
PRETI, Franco; (IT)
Mandataire : ADV IP S.R.L.; Via Conservatorio 22 I-20122 Milano (IT)
Données relatives à la priorité :
MI2014A001210 03.07.2014 IT
CO2015A000008 20.04.2015 IT
Titre (EN) TOOL FOR MANIPULATING SUBSTRATES, MANIPULATION METHOD AND EPITAXIAL REACTOR
(FR) OUTIL DE MANIPULATION DE SUBSTRATS, PROCEDE DE MANIPULATION ET REACTEUR EPITAXIAL
Abrégé : front page image
(EN)The tool (1 ) for manipulating substrates in an epitaxial reactor comprises an arm (2), a gripping disc (3) and a ball joint (4); said gripping disc (3) has a seat (5) on a lower face thereof for receiving a substrate (6) to be manipulated; said gripping disc (3) is mounted on the arm (2) through said ball joint (4) placed centrally with respect to said gripping disc (3); said gripping disc (3) is shaped so as to come into contact only with the upper edge of said substrate (6) to be manipulated; said gripping disc (3) has two degrees of freedom of rotational movement with respect to said arm (1 ) to allow adapting to the position of a substrate in a pocket of a susceptor of an epitaxial reactor.
(FR)L'invention concerne un outil (1) de manipulation de substrats dans un réacteur épitaxial, qui comprend un bras (2), un disque de préhension (3) et un joint à rotule (4). Le disque de préhension (3) comporte un siège (5) sur une face inférieure de celui-ci pour recevoir un substrat (6) à manipuler. Le disque de préhension (3) est monté sur le bras (2) par l'intermédiaire du joint à rotule (4) placé de façon centrale par rapport au disque de préhension (3). Le disque de préhension (3) présente une forme lui permettant de venir en contact uniquement avec le bord supérieur du substrat (6) à manipuler. Le disque de préhension (3) comporte deux degrés de liberté de mouvement de rotation par rapport au bras (1) pour permettre une adaptation par rapport à la position d'un substrat dans une poche d'un suscepteur de réacteur épitaxial.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : italien (IT)