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1. (WO2016001840) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE MESURE OPTIQUE DE TOPOGRAPHIE DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/001840 N° de la demande internationale : PCT/IB2015/054910
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 30.06.2015
CIB :
G01B 11/24 (2006.01) ,A61C 9/00 (2006.01)
Déposants : ALIGN TECHNOLOGY, INC.[US/US]; 2560 Orchard Parkway San Jose, California 95131, US
Inventeurs : ATIYA, Yossef; IL
VERKER, Tal; IL
Données relatives à la priorité :
14/323,21503.07.2014US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING SURFACE TOPOGRAPHY OPTICALLY
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE MESURE OPTIQUE DE TOPOGRAPHIE DE SURFACE
Abrégé : front page image
(EN) An apparatus is described for determining surface topography of a three-dimensional structure. The apparatus can include a probe (90) and an illumination unit (28,32,34,38) configured to output a plurality of light beams (36). In many embodiments, the apparatus includes a light focusing assembly (42,44). The light focusing assembly can receive and focus each of a plurality of light beams to a respective external focal point. The light focusing assembly can be configured to overlap the plurality of light beams within a focus changing assembly (224,234) in order to move the external focal points along a direction of propagation of the light beams. The apparatus can include a detector (60) having an array of sensing elements configured to measure a characteristic of each of a plurality of light beams returning from the illuminated spots and a processor (24) coupled to the detector and configured to generate data representative of topography of the structure based on the measured characteristic.
(FR) L’invention concerne un appareil permettant de déterminer la topographie de surface d’une structure tridimensionnelle. L’appareil peut comprendre une sonde (90) et une unité d’éclairage (28, 32, 34, 38) configurée pour émettre une pluralité de faisceaux lumineux (36). Dans de nombreux modes de réalisation, l'appareil comprend un ensemble de focalisation de lumière (42, 44). L’ensemble de focalisation de lumière peut recevoir et focaliser chacun d'une pluralité de faisceaux lumineux vers un point focal externe respectif. L’ensemble de focalisation de lumière peut être configuré pour superposer la pluralité de faisceaux lumineux au sein d’un ensemble de changement de focalisation (224, 234) afin de déplacer les points focaux externes le long d’une direction de propagation des faisceaux lumineux. L’appareil peut comprendre un détecteur (60) comportant un réseau d’éléments de détection configurés pour mesurer une caractéristique de chacun d’une pluralité de faisceaux lumineux revenant des points éclairés et un processeur (24) couplé au détecteur et configuré pour générer des données représentant la topographie de la structure en fonction de la caractéristique mesurée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)