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1. (WO2016001092) ÉLÉMENT OPTIQUE, MANIPULATEUR OPTIQUE, LENTILLE DE PROJECTION ET APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/001092    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/064558
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 26.06.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), C03C 3/06 (2006.01), C03C 4/00 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : EVA, Eric; (DE)
Mandataire : KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Ruppmannstrasse 27 70565 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2014 212 711.4 01.07.2014 DE
Titre (EN) OPTICAL ELEMENT, OPTICAL MANIPULATOR, PROJECTION LENS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
(FR) ÉLÉMENT OPTIQUE, MANIPULATEUR OPTIQUE, LENTILLE DE PROJECTION ET APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an optical element (OE) made of fused silica, which has an inner region (FP) that is continuous in a thickness direction (z), which inner region is surrounded by a circumferential edge region (BA) that is continuous in the thickness direction (z), wherein a hydrogen content ( [H2] ) in the circumferential edge region (BA) is less than a hydrogen content ( [H2] ) in the inner region (FP). The invention also relates to an optical manipulator with such an optical element (OE), a projection lens with at least one such optical manipulator and a projection exposure apparatus with such a projection lens.
(FR)La présente invention concerne un élément optique (OE) constitué de silice fondue, comportant une région intérieure (FP) qui est continue dans le sens de l'épaisseur (z), laquelle région interne est entourée par une région de bord périphérique (BA) qui est continue dans le sens de l'épaisseur (z), la teneur en hydrogène ([H2]) dans la région de bord périphérique (BA) étant inférieure à une teneur en hydrogène ([H2]) dans la région intérieure (FP). L'invention concerne également un manipulateur optique comportant un tel élément optique (OE), une lentille de projection comportant au moins un tel manipulateur optique et un appareil d'exposition par projection comportant une telle lentille de projection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)