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1. (WO2015179194) DÉTECTION DE PRÉSENCE ET CORRECTION DE POSITION POUR PLAQUETTE SUR UN ANNEAU DE SUPPORT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2015/179194 N° de la demande internationale : PCT/US2015/030656
Date de publication : 26.11.2015 Date de dépôt international : 13.05.2015
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68
pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
MAZZOCCO, John; US
GREENBERG, Daniel; US
Mandataire :
BERNADICOU, Michael A.; US
Données relatives à la priorité :
14/285,56022.05.2014US
Titre (EN) PRESENCE SENSING AND POSITION CORRECTION FOR WAFER ON A CARRIER RING
(FR) DÉTECTION DE PRÉSENCE ET CORRECTION DE POSITION POUR PLAQUETTE SUR UN ANNEAU DE SUPPORT
Abrégé :
(EN) Embodiments of the invention include apparatuses and systems for determining the position of a carrier ring assembly supported by an end effector. In an embodiment, the position of the carrier ring assembly is determined by passing the carrier ring assembly through a plurality of through beam sensors. As the carrier ring passes through the sensors, a plurality of sensor transitions along points on the carrier ring assembly are detected. Each sensor transition indicates that one of the through beam sensors changed from an unblocked state to a blocked state, or changed from an blocked state to an unblocked state. The position of the end effector is recorded at each sensor transition and is associated with the sensor transition that caused the end effector position to be recorded. A position of the carrier ring assembly is then calculated from the plurality of sensor transitions and their associated end effector positions.
(FR) Selon des modes de réalisation, l'invention concerne des appareils et des systèmes pour déterminer la position d'un ensemble anneau de support tenu par un organe effecteur. Dans un mode de réalisation, la position de l'ensemble anneau de support est déterminée en faisant passer l'ensemble anneau de support à travers une pluralité de capteurs barrages. À mesure que l'anneau de support passe à travers les capteurs, une pluralité de transitions de capteur le long de points sur l'ensemble anneau de support sont détectées. Chaque transition de capteur indique que l'un des capteurs barrages est passé d'un état non bloqué à un état bloqué, ou est passé d'un état bloqué à un état non bloqué. La position de l'organe effecteur est enregistrée au niveau de chaque transition de capteur et est associée à la transition de capteur qui a provoqué l'enregistrement de la position de l'organe effecteur. Une position de l'ensemble anneau de support est ensuite calculée à partir de la pluralité de transitions de capteur et des positions d'organe effecteur qui leur sont associées.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)