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1. (WO2015177217) SOURCE D'ÉVAPORATEUR POUR LE TRAITEMENT DE SURFACE DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2015/177217 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/061126
Date de publication : 26.11.2015 Date de dépôt international : 20.05.2015
CIB :
C23C 14/14 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
06
caractérisé par le matériau de revêtement
14
Matériau métallique, bore ou silicium
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
Déposants :
MANZ AG [DE/DE]; Steigäckerstraße 5 72768 Reutlingen, DE
ZENTRUM FÜR SONNENENERGIE- UND WASSERSTOFF-FORSCHUNG BADEN-WÜRTTEMBERG (ZSW) [DE/DE]; Industriestraße 6 70565 Stuttgart, DE
Inventeurs :
VOORWINDEN, Georg; DE
GROSS, Erwin; DE
ENGLERT, Ulrich; DE
SORG, Armin; DE
STRAUB, Axel; DE
VON BISMARCK, Philipp; DE
PISCH, Michael; DE
KNOTH, Lioudmila; DE
MARIENFELD, Alexander; DE
Mandataire :
WEILNAU, Carsten; DE
Données relatives à la priorité :
10 2014 007 521.423.05.2014DE
Titre (DE) VERDAMPFERQUELLE FÜR DIE OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN
(EN) EVAPORATOR SOURCE FOR SURFACE TREATMENT OF SUBSTRATES
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATEUR POUR LE TRAITEMENT DE SURFACE DE SUBSTRATS
Abrégé :
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampferquelle zur Oberflächenbehandlung zumindest eines Substrats, mit einem monolithischen Gehäuse (12) aus Graphit, welches zumindest einen Dampfraum (14, 114) zur Aufnahme zumindest eines Verdampfungsgutbehälters (16, 116) aufweist und welches zumindest einen mit dem Dampfraum (14, 114) in Strömungsverbindung stehenden Auslass (18) aufweist. Die Erfindung betrifft ferner eine Verdampferanordnung (1) mit einem strömungstechnisch mit der Verdampferquelle (10) gekoppelten Dampfverteiler (50).
(EN) The invention relates to an evaporator source for treating the surface of at least one substrate, comprising a monolithic housing (12) that is made of graphite, has at least one evaporation chamber (14, 114) for holding at least one evaporation material receptacle (16, 116), and also has at least one outlet (18) which is fluidically connected to the evaporation chamber (14, 114). The invention further relates to an evaporator arrangement (1) comprising a vapor distributor (50) that is fluidically coupled to the evaporator source (10).
(FR) L'invention concerne une source d'évaporateur pour le traitement de surface d'au moins un substrat, comportant un boîtier monolithique (12) en graphite présentant au moins une chambre de vapeur (14, 114) destinée à contenir au moins un contenant de substance à évaporer (16, 116), le boîtier présentant également au moins un orifice de sortie (18) se trouvant en connexion fluidique avec la chambre de vapeur (14, 114) L'invention concerne également un dispositif évaporateur (1) comportant un distributeur de vapeur (50) en couplage fluidique avec la source d'évaporateur (10).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)
Also published as:
CN106460155IN201627041216