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1. (WO2015176834) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE MOYENS OPAQUES AU RAYONNEMENT POUR UN ENSEMBLE FONCTIONNEL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2015/176834 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/054506
Date de publication : 26.11.2015 Date de dépôt international : 04.03.2015
CIB :
H01L 27/14 (2006.01) ,H01L 31/18 (2006.01) ,H01L 21/78 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
27
Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun
14
comprenant des composants semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement en énergie électrique, soit comme dispositifs de commande de l'énergie électrique par ledit rayonnement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
31
Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement en énergie électrique, soit comme dispositifs de commande de l'énergie électrique par ledit rayonnement; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails
18
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
77
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun
78
avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
Déposants :
IDT EUROPE GMBH [DE/DE]; Grenzstrasse 28 01109 Dresden, DE
Inventeurs :
REICHEL, Thomas; DE
MARSCHALKOWSKI, Eric; DE
Mandataire :
ADLER, Peter; DE
Données relatives à la priorité :
10 2014 107 062.319.05.2014DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN STRAHLUNGSUNDURCHLÄSSIGER MITTEL FÜR EINE FUNKTIONSEINHEIT
(EN) METHOD FOR PRODUCING RADIATION-IMPERMEABLE ELEMENTS FOR A FUNCTIONAL UNIT
(FR) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE MOYENS OPAQUES AU RAYONNEMENT POUR UN ENSEMBLE FONCTIONNEL
Abrégé :
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen strahlungsundurchlässiger Mittel, die zumindest eine mehrere Funktionselemente umfassende Funktionseinheit abschirmend umgeben, wobei die Funktionseinheit eine Oberseite, eine Rückseite sowie umlaufende Seitenkanten aufweist, und wobei mehrere Funktionseinheiten in einem Waferverband zusammenhängend gemeinsam erzeugt werden. Die Aufgabe, für eine Funktionseinheit die Einstrahlung von der Seite sowie von oben außerhalb der Funktionselemente zu unterbinden, wird dadurch gelöst, dass folgende Verfahrensschritte sequentiell durchlaufen werden: Einbringen eines Grabens zwischen nebeneinander angeordnete Funktionseinheiten, Abscheiden strahlungsundurchlässiger Mittel an den Oberflächen des erzeugten Grabens und unmittelbar an den an den Graben angrenzenden Randbereichen der Oberseite der Funktionseinheit, und zerstörungsfreies Vereinzeln der Funktionseinheiten mit den strahlungsundurchlässigen Mitteln.
(EN) The invention relates to a method for producing radiation-impermeable elements, which surround, in a shielding manner, at least one functional unit comprising a plurality of functional elements, wherein the functional unit has a top side, a back side, and peripheral side edges, and wherein a plurality of functional units is jointly produced contiguously in a wafer combination. The problem addressed by the invention is that of preventing irradiation from the side and from above outside of the functional elements, for a functional unit. This problem is solved in that the following steps are performed sequentially: introducing a trench between functional units arranged next to each other, depositing radiation-impermeable elements on the surfaces of the produced trench and directly on the edge regions of the top side of the functional unit which are adjacent to the trench, and nondestructively singulating the functional units by means of the radiation-impermeable elements.
(FR) L'invention concerne un procédé de réalisation de moyens opaques au rayonnement qui entourent en guise d'écran au moins un ensemble fonctionnel comprenant plusieurs éléments fonctionnels. L'ensemble fonctionnel comporte une face supérieure, une face arrière ainsi que des bords latéraux périphériques, et plusieurs ensembles fonctionnels contigus sont produits en même temps dans une tranche semi-conductrice. Le problème posé, empêcher pour un ensemble fonctionnel la pénétration du rayonnement par le côté ainsi que sa sortie par le haut à l'extérieur des éléments fonctionnels, est résolu en effectuant séquentiellement les étapes de procédé suivantes : formation d'une tranchée entre des ensembles fonctionnels juxtaposés; dépôt de moyens opaques au rayonnement sur les surfaces de la tranchée réalisée et directement sur les zones des bords adjacents à la tranchée de la face supérieure de l'ensemble fonctionnel; et individualisation non destructive des ensembles fonctionnels à l'aide des moyens opaques au rayonnement.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)
Also published as:
DE112015002389