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1. (WO2015173286) PROCÉDÉS ET DISPOSITIFS DE SPECTROSCOPIE AUX RAYONS X
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2015/173286 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/060557
Date de publication : 19.11.2015 Date de dépôt international : 13.05.2015
CIB :
G01N 23/225 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules) non couvertes par le groupe G01N21/ ou G01N22/183
22
en mesurant l'émission secondaire
225
en utilisant une microsonde électronique ou ionique
Déposants :
CARL ZEISS AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs :
KEMPE, Michael; DE
Mandataire :
CARLSOHN, Marc René; DE
Données relatives à la priorité :
10 2014 106 887.415.05.2014DE
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUR RÖNTGENSPEKTROSKOPIE
(EN) METHODS AND DEVICES FOR X-RAY SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉS ET DISPOSITIFS DE SPECTROSCOPIE AUX RAYONS X
Abrégé :
(DE) Es werden Vorrichtungen und Verfahren zur Röntgenspektroskopie bereitgestellt, bei welchen mehrere röntgenspektroskopische Messungen an verschiedenen Orten einer Probe durchgeführt werden und eine Elementkonzentration für ein interessierendes Element an mindestens einem Ort durch Kombination der Ergebnisse der mehreren Messungen abgeschätzt wird. Auf diese Weise kann insbesondere bei Vorrichtungen, bei welchen sich die Probe nicht in einem Vakuum befindet, eine Auflösungsverbesserung erreicht werden.
(EN) The invention relates to devices and to methods for x-ray spectroscopy, in which a plurality of x-ray spectroscopic measurements are made at different locations of a sample and an element concentration is estimated for an element of interest at at least one location by combining the results of the plurality of measurements. An improvement in resolution can be achieved in this manner, in particular for devices in which the sample is not in a vacuum.
(FR) L'invention concerne des dispositifs et des procédés de spectroscopie aux rayons X dans lesquels on effectue plusieurs mesures par spectroscopie aux rayons X à différents endroits d'un échantillon et on estime la concentration d'un élément d'intérêt à au moins un endroit en combinant les résultats de la pluralité de mesures. Il est ainsi possible d'améliorer la résolution, en particulier dans le cas de dispositifs dans lesquels l'échantillon n'est pas placé sous vide.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)