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1. (WO2015172263) LASER À GAZ EXCITÉ PAR RADIOFRÉQUENCE ET SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION
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1. 一种射频激励的气体激光器,包括:

填充有作为激光介质的气体的密封腔体(1),其中,

腔体(1)的前密封法兰(4)的内侧上形成有光学反射镜面(5), 腔体(1)的后密封法兰(2) 的内侧上形成有光学反射镜面(3) ,前 密封法兰(4) 的内侧上形成的光学反射镜面(5)与后密封法兰(2) 的内侧上形成的光学反射镜面 (3) 构成谐振腔,以及

其中,在腔体(1)的前密封法兰(4)的内侧上和 /或在腔体(1) 的后密封法兰 (2) 的内侧上形成有变形吸收槽(11) 。

2. 根据权利要求 1所述的气体激光器,其中,在腔体(1)的前 密封法兰(4) 的外侧上和 /或在腔体(1)的后密封法兰(2) 的外侧上 也形成有变形吸收槽 (11) 。

3. 根据权利要求 1或 2所述的气体激光器,其中,变形吸收槽 (11) 被形成为环形、多边形、曲线形或折线形。

4. 根据权利要求 3所述的气体激光器,其中,变形吸收槽(11) 在密封法兰 (4, 2) 上所围绕的面积范围覆盖放电区(9) 在密封法 兰 (4, 2) 上的投影面积范围。

5. 根据权利要求 3所述的气体激光器,其中,变形吸收槽(11) 在密封法兰 (4, 2) 上所围绕的面积范围覆盖光学反射镜面(5、 3) 的有效使用范围。

6. 根据权利要求 1所述的气体激光器,其中,前密封法兰(4) 与光学反射镜面 (5) 为一体。

7. 根据权利要求 1所述的气体激光器,其中,后密封法兰(2) 与光学反射镜面 (3) 为一体。

8. 一种射频激励的气体激光器的制备方法,该气体激光器包括 填充有作为激光介质的气体的密封腔体, 所述方法包括:

在前密封法兰 (4) 的一侧上形成光学反射镜面(5) ;

在后密封法兰 (2) 的一侧上形成光学反射镜面(3) ;

在前密封法兰 (4) 的形成有光学反射镜面(5) 的一侧上形成 变形吸收槽(11)和 /或在后密封法兰(2)的形成有光学反射镜面(3) 的一侧上形成变形吸收槽 (11) ;

将前密封法兰 (4) 固定至放电管的前端,将后密封法兰(2) 固定至放电管的后端,从而形成密封腔体 (1) ,以使得光学反射镜 面 (5, 3) 位于腔体(1) 的内部,

其中,前密封法兰(4) 上形成的光学反射镜面(5) 与后密封 法兰 (2) 上形成的光学反射镜面(3) 构成谐振腔。

9. 根据权利要求 8所述的方法,还包括:

在腔体(1)的前密封法兰(4) 的外侧上和 /或在腔体(1)的后密 封法兰 (2) 的外侧上形成变形吸收槽(11) 。

10. 根据权利要求 8或 9所述的方法,其中,将变形吸收槽(11) 形成为环形、多边形、曲线形或折线形。

11. 根据权利要求 10所述的方法,其中,使得变形吸收槽(U) 在密封法兰 (4, 2) 上所围绕的面积范围覆盖放电区(9) 在密封法 兰 (4, 2) 上的投影面积范围。

12. 根据权利要求 10所述的方法,其中,使得变形吸收槽(11) 在密封法兰 (4, 2) 上所围绕的面积范围覆盖光学反射镜面(5、 3) 的有效使用范围。

13. 根据权利要求 8所述的方法,其中,将前密封法兰(4) 与 光学反射镜面 (5) 形成为一体。

14. 根据权利要求 8所述的气体激光器,其中,将后密封法兰 (2) 与光学反射镜面(3) 形成为一体。