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1. (WO2015142589) NETTOYAGE DE DISPOSITIF DE DÉPÔT PAR INJECTION DE GAZ DE NETTOYAGE DANS LE DISPOSITIF DE DÉPÔT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/142589    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/019987
Date de publication : 24.09.2015 Date de dépôt international : 11.03.2015
CIB :
C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : VEECO ALD INC. [US/US]; 3191 Laurelview Court Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : LEE, Sang, In; (US).
PAK, Samuel, S.; (US).
LEE, Daniel, Ho; (US).
YANG, Hyoseok, Daniel; (US)
Mandataire : AHN, Dohyun; (US)
Données relatives à la priorité :
61/953,742 15.03.2014 US
61/953,876 16.03.2014 US
Titre (EN) CLEANING OF DEPOSITION DEVICE BY INJECTING CLEANING GAS INTO DEPOSITION DEVICE
(FR) NETTOYAGE DE DISPOSITIF DE DÉPÔT PAR INJECTION DE GAZ DE NETTOYAGE DANS LE DISPOSITIF DE DÉPÔT
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments relate to a deposition device that operates in two modes: a deposition mode, and a cleaning mode. In the deposition mode, modular injectors inject materials onto a substrate to form a layer. In the cleaning mode, the deposition device is cleaned without disassembly by injecting a cleaning gas. The injector module assembly may be cleaned in the cleaning mode by injecting cleaning gas through an exhaust for removing reactant precursor and routing the cleaning gas from the exhaust to another exhaust for removing source precursor. Alternatively, the injector module assembly is cleaned by injecting cleaning gas into a passage between an injector for injecting a source precursor and another injector for injecting a reactant precursor, and routing the cleaning gas to one of the exhausts in the cleaning mode.
(FR)L'invention concerne, dans des modes de réalisation, un dispositif de dépôt qui fonctionne en deux modes : un mode dépôt et un mode nettoyage. En mode dépôt, des injecteurs modulaires injectent des substances sur un substrat pour former une couche. En mode nettoyage, le dispositif de dépôt est nettoyé sans démontage par injection d'un gaz de nettoyage. L'ensemble module injecteur peut être nettoyé en mode nettoyage par injection de gaz de nettoyage par une évacuation pour éliminer un précurseur réactif et par l'envoi du gaz de nettoyage provenant de l'évacuation vers une autre évacuation pour éliminer le précurseur source. En variante, l'ensemble module injecteur est nettoyé par injection de gaz de nettoyage dans un passage entre un injecteur pour l'injection d'un précurseur source et un autre injecteur pour l'injection d'un précurseur réactif, et par envoi du gaz de nettoyage vers l'une des évacuations en mode nettoyage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)