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1. (WO2015141437) DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE ET DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/141437    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/055694
Date de publication : 24.09.2015 Date de dépôt international : 26.02.2015
CIB :
G01F 1/684 (2006.01)
Déposants : HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224 (JP)
Inventeurs : ISHII Mamoru; (JP)
Mandataire : PROSPEC PATENT FIRM; 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801 (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-058170 20.03.2014 JP
Titre (EN) THERMAL MASS-FLOW METER AND MASS-FLOW CONTROL DEVICE USING SAME
(FR) DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE ET DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE L'UTILISANT
(JA) 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide a thermal mass-flow meter in which, even when working with a condensing gas that needs to be heated to 250°C, said gas does not re-liquefy or condense inside a sensor tube. Also, to provide a mass-flow control device using said thermal mass-flow meter. [Solution] This thermal mass-flow meter, which has a case that contains a sensor tube and a sensor wire and is provided so as to contact a mounting surface of a base, is provided with a heat-transfer block that comprises a good conductor of heat and is in surface contact with both the mounting surface of the base and a side surface of the case. In a preferred embodiment, a temperature-regulating block provided so as to contact a side surface of the base is also provided.
(FR)[Problème] L'invention a pour objet de réaliser un débitmètre massique thermique caractérisé en ce que, même lorsqu'il fonctionne avec un gaz se condensant qui doit être chauffé jusqu'à 250°C, ledit gaz ne se liquéfie pas à nouveau et ne se condense pas à l'intérieur d'un tube de capteur. L'invention a également pour objet de réaliser un dispositif de régulation de débit massique utilisant ledit débitmètre massique thermique. [Solution] Le présent débitmètre massique thermique, qui est doté d'un boîtier contenant un tube de capteur et un fil de capteur et placé de façon à être en contact avec une surface de montage d'une embase, est muni d'un bloc de transfert de chaleur qui comporte un bon conducteur de la chaleur et est en contact surfacique à la fois avec la surface de montage de l'embase et une surface latérale du boîtier. Dans un mode de réalisation préféré, l'invention concerne également un bloc régulateur de température placé de façon à être en contact avec une surface latérale de l'embase.
(JA)【課題】 250℃に加熱することが必要な凝結性のガスを取り扱う場合であっても、センサチューブの内部でガスが再液化又は凝結しない熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置を提供すること。 【解決手段】 ベースの設置面に接して設けられ、センサチューブ及びセンサワイヤを収容するケースを有する熱式質量流量計において、ベースの設置面及びケースの側面とそれぞれ面接触をしている熱の良導体でなる伝熱ブロックを設ける。好ましい実施の形態においては、ベースの側面に接して設けられた温度調節ブロックをさらに設ける。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)