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1. (WO2015139777) SOURCE D'ÉVAPORATION POUR MATIÈRE ORGANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/139777    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/055744
Date de publication : 24.09.2015 Date de dépôt international : 21.03.2014
CIB :
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/04 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, 95054 (US).
DIEGUEZ-CAMPO, Jose, Manuel [ES/DE]; (DE) (US only).
BANGERT, Stefan [DE/DE]; (DE) (US only).
LOPP, Andreas [DE/DE]; (DE) (US only).
SCHÜSSLER, Uwe [DE/DE]; (DE) (US only)
Inventeurs : DIEGUEZ-CAMPO, Jose, Manuel; (DE).
BANGERT, Stefan; (DE).
LOPP, Andreas; (DE).
SCHÜSSLER, Uwe; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN & PARTNER; Josephspitalstr. 15 80331 München (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EVAPORATION SOURCE FOR ORGANIC MATERIAL
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION POUR MATIÈRE ORGANIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An evaporation source array for depositing two or more organic materials on a substrate is described. The evaporation source array includes two or more evaporation crucibles, wherein the two or more evaporation crucibles are configured to evaporate the two or more organic materials, two or more distribution pipes with outlets provided along the length of the two or more distribution pipes, wherein a first distribution pipe of the two or more distribution pipes is in fluid communication with a first evaporation crucible of the two or more evaporation crucibles, two or more heat shields, which surround the first distribution pipe, a cooling shield arrangement provided at at least one side of the two or more distribution pipes, wherein the at least one side is the side at which the outlets are provided, and a cooling element provided at or in the cooling shield arrangement for active cooling of the cooling shield arrangement.
(FR)L'invention porte sur un réseau de sources d'évaporation pour le dépôt d'au moins deux matières organiques sur un substrat. Le réseau de sources d'évaporation comprend au moins deux creusets d'évaporation, les au moins deux creusets d'évaporation étant conçus pour faire évaporer les au moins deux matières organiques, au moins deux tuyaux de distribution dotés de sorties ménagées sur la longueur des au moins deux tuyaux de distribution, un premier tuyau de distribution parmi les au moins deux tuyaux de distribution étant en communication fluidique avec un premier creuset d'évaporation parmi les au moins deux creusets d'évaporation, au moins deux écrans thermiques, qui entourent le premier tuyau de distribution, un système écran de refroidissement disposé au moins d'un côté des au moins deux tuyaux de distribution, ledit ou lesdits côtés étant le côté sur lequel les sorties sont ménagées, et un élément de refroidissement disposé sur ou dans le système écran de refroidissement pour le refroidissement actif du système écran de refroidissement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)