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1. (WO2015138691) SYSTÈME DE BALAYAGE MAGNÉTIQUE POUR IMPLANTEURS IONIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/138691    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/020120
Date de publication : 17.09.2015 Date de dépôt international : 12.03.2015
CIB :
H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : GTAT CORPORATION [US/US]; 243 Daniel Webster Highway Merrimack, NH 03054 (US)
Inventeurs : PARK, William, H.; (US).
RYDING, Geoffrey; (US)
Mandataire : LEBARRON, Stephen, D.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/952,610 13.03.2014 US
Titre (EN) MAGNETIC SCANNING SYSTEM FOR ION IMPLANTERS
(FR) SYSTÈME DE BALAYAGE MAGNÉTIQUE POUR IMPLANTEURS IONIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A compact electromagnetic system is disclosed that is capable of scanning an ion beam in two orthogonal directions (e.g., for semiconductor doping or hydrogen induced exfoliation). In particular, according to embodiments of the compact electromagnetic system, the steel yoke, pole pieces, and excitation coils for both the X and Y axis have been integrated into a common structure.
(FR)Cette invention concerne un système électromagnétique compact, apte à balayer un faisceau ionique dans deux directions orthogonales (par exemple, pour un dopage de semi-conducteurs ou une corrosion par l'hydrogène). En particulier, selon des modes de réalisation dudit système électromagnétique compact, la culasse en acier, les pièces polaires, et les bobines d'excitation pour les deux axes X et Y ont été intégrés dans une structure commune.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)