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1. (WO2015138091) CHAMBRE INTELLIGENTE ET CONSTITUANTS DE CHAMBRE INTELLIGENTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/138091    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/016060
Date de publication : 17.09.2015 Date de dépôt international : 16.02.2015
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/203 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : BINNS, Simon Nicholas; (US).
WEST, Brian T.; (US).
SCHAUER, Ronald Vern; (US).
JOHNSON, Roger M.; (US).
COX, Michael S.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
61/954,458 17.03.2014 US
61/953,428 14.03.2014 US
Titre (EN) SMART CHAMBER AND SMART CHAMBER COMPONENTS
(FR) CHAMBRE INTELLIGENTE ET CONSTITUANTS DE CHAMBRE INTELLIGENTE
Abrégé : front page image
(EN)A process chamber includes a chamber body having a chamber lid assembly disposed thereon, one or more monitoring devices coupled to the chamber lid assembly, and one or more antennas disposed adjacent to the chamber lid assembly that are in communication with the one or more monitoring devices.
(FR)Une chambre de traitement comprend un corps de chambre sur lequel est disposé un ensemble couvercle de chambre, un ou plusieurs dispositifs de surveillance couplés à l'ensemble couvercle de chambre, et une ou plusieurs antennes disposées adjacentes à l'ensemble couvercle de chambre qui sont en communication avec le ou les dispositifs de surveillance.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)