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1. (WO2015137572) DISPOSITIF D'ÉCONOMIE D'ÉNERGIE POUR SYSTÈME À POMPE CRYOGÉNIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/137572    N° de la demande internationale :    PCT/KR2014/006799
Date de publication : 17.09.2015 Date de dépôt international : 25.07.2014
CIB :
F04B 37/08 (2006.01), F04B 53/10 (2006.01)
Déposants : JOINSOLUTION CO., LTD. [KR/KR]; 53-30, Dongtansandan 6-gil, Dongtan-Myeon Hwaseong-si Gyeonggi-do 445-811 (KR)
Inventeurs : KIM, Horim; (KR)
Mandataire : YOO, Jong Woo; Yeosam Building 123 Teheran-ro, Gangnam-gu Seoul 135-748 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2014-0028089 11.03.2014 KR
Titre (EN) POWER SAVING DEVICE FOR CRYOPUMP SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ÉCONOMIE D'ÉNERGIE POUR SYSTÈME À POMPE CRYOGÉNIQUE
(KO) 크라이오 펌프시스템의 전력절감장치
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a power saving device for a cryopump system including a cryo compressor and, more particularly, to a power saving device for a cryopump system that adjusts the flow of coolant supplied to the cryopump according to a set temperature and pressure in a regenerative process of the cryopump and a cooling operation step. To this end, the present invention is characterized by comprising: a cryo compressor for compressing helium coolant at high pressure together with a cryopump for adsorbing, condensing, and solidifying gas and moisture and forming a high vacuum; a controller for monitoring the temperature and pressure in the cryopump and controlling a storage tank and a bypass valve unit for system power saving, in a cryopump system configured of a helium supply line for supplying compressed helium coolant from the cryo compressor to the cryopump, and a helium return line for returning low-pressure helium coolant to the compressor; and a cryo compressor power saving device including a storage tank for storing high-pressure helium coolant, valves for controlling the filling and discharging of helium into and from the storage tank, and a bypass valve for bypassing high-pressure helium coolant supplied from the cryo compressor to the low-pressure helium return line.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'économie d'énergie pour un système à pompe cryogénique comprenant un compresseur cryogénique, et plus particulièrement un dispositif d'économie d'énergie pour un système à pompe cryogénique qui ajuste le débit d'agent réfrigérant fourni à la pompe cryogénique en fonction d'une température et d'une pression réglées dans un processus de régénération de la pompe cryogénique et à une étape d'opération de refroidissement. Pour ce faire, la présente invention est caractérisée en ce qu'elle comprend : un compresseur cryogénique destiné à comprimer un agent réfrigérant hélium à haute pression combiné à une pompe cryogénique afin d'adsorber, de condenser, et de solidifier le gaz et l'humidité et de former un vide poussé ; un contrôleur destiné à surveiller la température et la pression dans la pompe cryogénique et à commander un réservoir de stockage et une unité à vanne de dérivation pour des économies d'énergie du système, dans un système à pompe cryogénique composé d'une ligne d'alimentation en hélium servant à fournir de l'agent réfrigérant hélium comprimé du compresseur cryogénique à la pompe cryogénique, et une ligne de retour d'hélium pour renvoyer l'agent réfrigérant hélium à basse pression vers le compresseur ; et un dispositif d'économie d'énergie de compresseur cryogénique comprenant un réservoir de stockage pour stocker l'agent réfrigérant hélium à haute pression, des vannes pour commander le remplissage et la décharge de l'hélium dans et depuis le réservoir de stockage, et une vanne de dérivation servant à dériver l'agent réfrigérant hélium à haute pression fourni par le compresseur cryogénique vers la ligne de retour d'hélium à basse pression.
(KO)본 발명은 크라이오 압축기를 포함한 크라이오 펌프시스템의 전력절감장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 크라이오 펌프의 재생 과정과 냉각운전 단계에서의 설정 온도 및 압력에 따라 상기 크라이오 펌프로 공급되는 냉매 유량을 조절해줌으로써 크라이오 펌프시스템의 전력을 절감하는 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 가스 및 수분을 흡착, 응축, 응고하여 고진공을 실현하는 크라이오 펌프와 헬륨냉매를 고압으로 압축하는 크라이오 압축기; 이 크라이오 압축기로부터 압축된 헬륨냉매를 크라이오 펌프로 공급하는 헬륨 공급라인과 저압의 헬륨 냉매를 압축기로 회수하는 헬륨 회수라인으로 구성된 크라이오 펌프시스템에는, 시스템 전력절감을 위하여 크라이오 펌프의 온도 및 압력을 모니터링하고 스토리지 탱크 및 바이패스 밸브부를 제어하는 제어부와; 고압의 헬륨냉매를 저장하는 스토리지탱크, 이 스토리지탱크에 헬륨의 충진 및 방출을 제어하는 밸브들과, 크라이오 압축기에서 공급되는 고압의 헬륨냉매를 저압의 헬륨 회수라인으로 바이패스시키는 바이패스밸브로 구성되는 스토리지 탱크 및 바이패스 밸브부를 포함하는 크라이오 압축기 전력절감장치가 구비되고 있는 것을 그 특징으로 한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)